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F20 反射膜厚仪
- 型号
- F20
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深圳市锡成科学仪器有限公司自成立以来，一直秉承诚信经营的理念，充分考虑客户的技术需求及资金预算，为广大客户推荐合适的产品及服务。
我们自研及代理的国内外多种仪器设备，已广泛应用于材料、电子、新能源、建筑、环保及化工等领域，用户涵盖各类高校、研究所、企业实验室和质检部门等。在样品制备、分析测试、材料及器件的性能表征等方面，深受用户认可。
我们将一如既往，努力为客户提供完善的实验室一站式服务。
详细信息
反射膜厚仪可在几秒钟内完成高精度的薄膜厚度测量，实现便捷高效的无损测量。其基本原理是：光源发出的光经光纤导出后照射在样品表面，样品表面与基底反射的光产生干涉，通过其相位变化与波程差可测量薄膜厚度及光学常数。相比于其他的薄膜厚度测量仪器，具有经济适用，构造及维护简单，使用方便等优点。
F20反射膜厚仪单点测量系统
样品要求：透明或半透明薄膜
薄膜厚度：1nm~3mm
基底（厚度测量）：表面光滑，可反射光线
基底（光学常数测量）：平整，镜面反射
可测量多层薄膜样品
膜厚、折射率和消光系数
型号 | 厚度范围 | 波长范围 |
F20 | 15nm - 70µm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm - 250µm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm - 40µm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm - 250µm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
F3-sX | 10µm- 3mm | 960-1580nm |
设定扫描图案，自动测量，速度2point/s
内置多种图案，用户可自建扫描图案
全自动XY工作台
型号 | 厚度范围 | 波长范围 |
F50 | 20nm - 70µm | 380-1050nm |
F50-UV | 5nm - 40µm | 190-1100nm |
F50-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
F50-EXR | 20nm - 250µm | 380-1700nm |
F50-UVX | 5nm - 250µm | 190-1700nm |
F50-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
F50-s980 | 4µm - 1mm | 960-1000nm |
F50-s1310 | 7µm - 2mm | 1280-1340nm |
F50-s1550 | 10µm - 3mm | 1520-1580nm |
F30在线厚度测量系统
测量速度快，可实时监控薄膜沉积生长情况
测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性
精度＜±1%
非接触式测量，可以在沉积室进行测量
型号 | 厚度范围 | 波长范围 |
F30 | 15nm - 70µm | 380-1050nm |
F30-UV | 3nm - 40µm | 190-1100nm |
F30-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
F30-EXR | 15nm - 250µm | 380-1700nm |
F30-UVX | 3nm - 250µm | 190-1700nm |
F30-XT | 2µm - 450µm | 1440-1690nm |
