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单片智能清洗系统
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深圳正阳工业清洗设备有限公司成立于2008年，经过15余年来的发展，如今已在华东、西南、厦门等地区设立服务办事处。
公司通过了IS09001质量管理体系、IS014001环境管理体系和职业健康管理体系，是专精特新企业，拥有多项自主知识产权，与多所高校建立了长期技术研发合作关系。
公司集产品开发、生产、销售及提供高要求智能清洗整体解决方案于一体，致力于在智能清洗领域做专、做实、做精、做透、做特！
通过敬业、职业、专业的服务，深得客户的信赖，与上百家企业建立了长期的伙伴合作关系，赢得了市场和业界的尊重！
详细信息
单片式清洗机是由几个清洗腔体组成，再通过机械手将每一片晶圆送至各个腔体中进行单独的喷淋式清洗，清洗效果较好，避免了交叉污染和前批次污染后批次，具有工艺环境控制能力与微粒去除能力，有效解决晶圆之间交叉污染的问题。可2/4/6/8/12/16腔室，单腔室处理速度可达到35片/小时，根据客户需求定制适用于8寸/12寸硅片清洗，内部集成精密的化学药液配比装置和废液回收装置。
单片智能清洗机有以下产品特点；
