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M+100CD-S 半自动匀胶显影机
- 型号
- M+100CD-S
匀胶机，显影剂，喷胶机
半导体设备、半导体材料、电子产品、机械零配件、仪器仪表、专用机床、力学、测量检测设备、化学抛光设备的技术开发及服务;薄膜电路生产;光纤照明设备、环境试验设备的生产及销售.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
详细信息
自动滴胶、甩胶、匀胶
供胶系统
排风系统
可配EBR&BSR功能
适用用圆片尺寸: 2”、3”、4”；以及5x5,10x10,25x25方片
工艺工步：放置圆片（可辅助定中心） 启动 防溅罩到上位 真空吸片 防尘帽闭合 电机启动 吹氮气 低速滴胶 加速、高速匀胶 上刮边 下刮边
电机停止 防尘帽开启 防溅帽到下位 去真空、卸片（工艺结束）以上各工步流程为自动执行，其中防尘帽、防溅帽、真空具有手动功能；
主轴径向跳动≤0.02mm，轴向窜动≤0.04mm；
主轴转速：200～7000转/分，误差±20转/分,连续可调；
主轴加速度（空载）：0～3×10³rad/秒²，连续可调；
工艺工步时间：0～999.9秒，设定增量±0.1秒；
滴胶量和速度可调；
