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AS8 喷涂胶机
- 型号
- AS8
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1.产品介绍：
AS8适用于崎岖表面的手动喷雾涂胶机,AS8涂胶机可以满足实验室和试产环境下常用工艺的需要，对于起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工，都是理想的工具。SUSS AS8涂胶机也可用于生产环境。
2.产品优势：
跨越大起伏形貌的图案化赋能技术
顶部边缘覆盖的保形涂胶，且能避免沟槽中堆胶。
喷雾设计，可实现工艺稳定性与重复性的优化
基板尺寸最大直径为200 mm，方形基板最大边长为 6"
最多可有2个独立的喷雾喷胶系统，以避免交叉污染
带有MMC控制器软件的触摸屏
全部工艺参数可在工艺菜单中编程
