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GVC-3000热蒸发镀碳仪
高级会员第4年
生产厂家外形尺寸 | 420(L)×330(D)×335(H) mm | 操作界面 | 7 英寸触摸屏、全数字显示 |
蒸发源 | 高纯碳纤维(φ0.8mm) | 蒸发源数量 | 4 根 |
蒸发模式 | 连续蒸发、脉冲蒸发 | 工作模式 | 全自动、手动 |
预热除气 | 有 | 除气挡板 | 全自动 |
真空泵 | 旋片式真空泵 | 真空泵抽速 | 1.1L/s |
真空室 | 高硅硼玻璃 ~φ170×130mm | 极限真空 | ≤1Pa |
样品台 | ≥φ90mm | 工作真空 | ≤2Pa |
样品台旋转 | 手动或自动 | 样品台转速 | 高速、低速两档可调 |
供电 | AC220V/50Hz | 额定功率 | 800W |
蒸发源状态 | 系统上电后自动检测 4 根蒸发源通断情况,并在主界面显示 | ||
保护功能 | 真空保护、过流保护、过压保护等 | ||
其它 | 真空、电流、电压可实时曲线 显示 | ||
选配 | 分子泵(高真空模式)、膜厚监测、温度检测等 |