3轴加速度在线振动传感器

3轴加速度在线振动传感器

3轴加速度传感器引线型

半导体晶片生产中使用的多关节机器人的振动监视开发·面向品质管理的事例介绍

生产半导体晶片时，必须使用多关节机器人进行生产。

在这种情况下，机器人搬运时给产品带来的异常冲击会导致产品质量劣化，因此是一个很大的课题。

因此，本公司产品的“3轴加速度传感器MA3系列”可以检测到发生了异常的冲击，因此有组装到机器人中使用的例子。

“3轴加速度传感器MA3系列”通过模拟电压的变化输出X、Y、Z方向的加速度。输出可导入PLC，设置阈值进行判定。

根据判定结果通知异常，根据情况也可以停止设备。

“3轴加速度传感器MA3系列”有通用型和高频型两种，可以根据产生的加速度的频带选择。

另外，根据发生的加速度的大小，也可以选择测量范围。

设备状态监测的最佳一台建议！

支持高G、高频的3轴加速度传感器

不需要内置放大器工程，连接也很简单。

国内生产、高品质、公司内部校正品质支持体制完备。

冲压机发生异常时自动停止，防止模具破损和成品率下降

拾音器的对应幅度很丰富。冲压机的高G高频的冲击也能测量。

不仅是加工装置的异常发生，还进行原因的确定，提高成品率、生产效率

通过对加速度的测量数据进行频率分析等，确定发生异常预兆的部件。

将切削加工装置与其他公司制造的PLC（序列发生器）连接，也可以进行导入成本低的异常监视

因为是内置放大器，所以只需直接连接已经导入的PLC就可以测量。

※1 弊社モーションレコーダーシリーズに接続した場合、こちらの検出範囲になります。

※2 ±3dBにて規定

1