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MICROSTONE/微石 在线振动传感器

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2024/1/25 17:11:06

3轴加速度在线振动传感器

3轴加速度传感器引线型

半导体晶片生产中使用的多关节机器人的振动监视开发·面向品质管理的事例介绍

生产半导体晶片时,必须使用多关节机器人进行生产。

在这种情况下,机器人搬运时给产品带来的异常冲击会导致产品质量劣化,因此是一个很大的课题。

因此,本公司产品的“3轴加速度传感器MA3系列"可以检测到发生了异常的冲击,因此有组装到机器人中使用的例子。

“3轴加速度传感器MA3系列"通过模拟电压的变化输出X、Y、Z方向的加速度。输出可导入PLC,设置阈值进行判定。

根据判定结果通知异常,根据情况也可以停止设备。

“3轴加速度传感器MA3系列"有通用型和高频型两种,可以根据产生的加速度的频带选择。

另外,根据发生的加速度的大小,也可以选择测量范围。

设备状态监测的最佳一台建议!

支持高G、高频的3轴加速度传感器

不需要内置放大器工程,连接也很简单。

国内生产、高品质、公司内部校正品质支持体制完备。

冲压机发生异常时自动停止,防止模具破损和成品率下降

拾音器的对应幅度很丰富。冲压机的高G高频的冲击也能测量。

不仅是加工装置的异常发生,还进行原因的确定,提高成品率、生产效率

通过对加速度的测量数据进行频率分析等,确定发生异常预兆的部件。

将切削加工装置与其他公司制造的PLC(序列发生器)连接,也可以进行导入成本低的异常监视

因为是内置放大器,所以只需直接连接已经导入的PLC就可以测量


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