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FWPX四英寸低温探针台

型号
QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)

中级会员9年 

生产厂家

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PPMS,MPMS,低温磁学,表面成像,样品制备,生命科学仪器
  • 我们是谁

    美国Quantum Design公司是科学仪器制造商,其研发生产的系列磁学测量系统及综合物性测量系统已成为业内进的测量平台,广泛分布于全球材料、物理、化学、纳米等研究域的科研实验室。Quantum量子科学仪器贸易(北京)有限公司(暨Quantum Design中国子公司) 成立于2004年,是美国Quantum Design公司设立的诸多子公司之,在全权负责美国Quantum Design公司本部产品在中国的销售及售后技术支持的同时,还致力于和范围内物理、化学、生物域的科学仪器制造商进行密切合作,帮助中国市场引进更多全球范围内的质设备和技术,助力中国科学家的项目研究和发展。

  • 我们的理念

    Quantum Design中国的长期目标是成为中国与进行进技术、进仪器交流的重要桥头堡。助力中国科技发展的十几年中,Quantum Design中国时刻保持着积进取、不忘初心、精益求精的态度,为中国科学家提供更质的科学和技术支持。随着中国科学在舞台变得愈加举足轻重,Quantum Design中国将继续秉承“For Scientist, By Scientist”的理念,助力中国科技蓬勃发展,助力中国科技在腾飞!

  • 我们的团队

    Quantum Design中国拥有支具备强大技术背景、职业化工作作风的团队,并致力于培养并引进更多博士业技术人才。目前公司业务团队高学历业硕博人才已占比超过70%以上,高水平人才的不断加入和日益密切的团队配合帮助QD中国实现连续几年销售业绩的持续增长

  • 我们的服务


  • Quantum Design中国拥有完善的本地化售前、售中和售后服务体系。国内本地设有价值超过50万美元的备件库,用于加速售后服务响应速度;同时设有超过300万美元的样机实验室,支持客户对设备进行进步体验和深度了解。 “不仅提供超的产品,还提供超的售后服务”这将是Quantum Design中国区别于其他科研仪器供应商的重要征,也正成为越来越多科学工作者选择Quantum Design中国的重要原因。




详细信息

Lake Shore 的FWPX探针台专为需要大尺寸晶圆探测的研究人员设计,它可以容纳直径高达102 mm(4英寸)的晶圆片,并可定制容纳更大尺寸至152 mm(6英寸)的晶圆。这款通用的探针台主要是为研究者和工程师们做大样品的材料特性表征而设计,同样可以有效的测量有机材料。

 

FWPX探针台采用了连续流制冷系统,使用液氦或液氮来冷却晶圆片或样品。它的标准工作范围为4.5K~475K,使用低温选件可将基础低温扩展至3.5K。


FWPX探针台可进行I-V,C-V 和微波等标准测量。


FWPX探针台最多同时安装6个带有热沉的微型操纵探针臂,经过优化设计后可用于电光测试。


主要特征:

 

√  温度范围4.5 K~475 K

√  可选低温3.5 K

√  样品快速测量

√  标准4英寸(102 mm)样品,6英寸(152 mm)可定制

√  样品可面内±5°旋转

√  样品振动<30 nm


设备参数:


温度范围
最多安装6个探针臂基础温度4.5 K,控制范围5 K ~ 475 K
安装PS-LT低温选件基础温度3.5 K,控制范围4 K ~ 475 K
温度稳定性液氦液氮
基础温度 (无加热控制)±20 mK±20 mK
<10 K±50 mK —
10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK
101 K ~ 250 K±20 mK±50 mK
251 K ~ 350 K±20 mK±100 mK
351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK
真空以TPS-FRG分子泵组为标准
抽真空时间30 min (<1 × 10-3 Torr)
室温下<5 × 10-4 Torr
基础温度下<1 × 10-5 Torr
最高温度下<5 × 10-3 Torr
循环时间
总循环3.5 h
抽真空0.5 h
探针台冷却1.5 h
探针台升温1.5 h
样品
最大尺寸102 mm(4英寸)标准
样品背光接口不可选
样品旋转±5°面内旋转
样品平移在x轴和y轴上平移,用于整个102 mm的晶圆片探测
样品振动<30 nm标准
探针配置
最大探针数6
探针臂温度计用于监视探针臂的温度
冷却探针支架<30 K(样品在基础温度下)
探针支架连接样品台热沉
探针臂支架连接防辐射屏热沉
DC/RF探针电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量
微波探针频率范围从DC到67GHz
光纤探针可用于电光测量
落针范围所有探针均可在直径为51毫米(2 英寸)的圆内落针



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