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CPX-VF低温超导磁体探针台
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我们是谁
美国Quantum Design公司是科学仪器制造商，其研发生产的系列磁学测量系统及综合物性测量系统已成为业内进的测量平台，广泛分布于全球材料、物理、化学、纳米等研究域的科研实验室。Quantum量子科学仪器贸易（北京）有限公司(暨Quantum Design中国子公司) 成立于2004年，是美国Quantum Design公司设立的诸多子公司之，在全权负责美国Quantum Design公司本部产品在中国的销售及售后技术支持的同时，还致力于和范围内物理、化学、生物域的科学仪器制造商进行密切合作，帮助中国市场引进更多全球范围内的质设备和技术，助力中国科学家的项目研究和发展。
我们的理念
Quantum Design中国的长期目标是成为中国与进行进技术、进仪器交流的重要桥头堡。助力中国科技发展的十几年中，Quantum Design中国时刻保持着积进取、不忘初心、精益求精的态度，为中国科学家提供更质的科学和技术支持。随着中国科学在舞台变得愈加举足轻重，Quantum Design中国将继续秉承“For Scientist, By Scientist”的理念，助力中国科技蓬勃发展，助力中国科技在腾飞！
我们的团队
Quantum Design中国拥有支具备强大技术背景、职业化工作作风的团队，并致力于培养并引进更多博士业技术人才。目前公司业务团队高学历业硕博人才已占比超过70%以上，高水平人才的不断加入和日益密切的团队配合帮助QD中国实现连续几年销售业绩的持续增长
我们的服务
Quantum Design中国拥有完善的本地化售前、售中和售后服务体系。国内本地设有价值超过50万美元的备件库，用于加速售后服务响应速度；同时设有超过300万美元的样机实验室，支持客户对设备进行进步体验和深度了解。 “不仅提供超的产品，还提供超的售后服务”这将是Quantum Design中国区别于其他科研仪器供应商的重要征，也正成为越来越多科学工作者选择Quantum Design中国的重要原因。
详细信息
Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。
CPX-VF在直径达51mm（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。
CPX-VF使用液氦或液氮进行连续流制冷（使用超导磁体时必须使用液氦），其操作温度范围为4.2 K到400 K，使用低温选件可将基础低温扩展到2 K。
主要特征：
√ 温度范围4.3 K~400 K
√ 可选低温1.9 K
√ 垂直磁场±2.5 T
√ 最大2英寸（51 mm）样品
√ 样品可面内±5°旋转
√ 样品振动＜30 nm可选
√ 90°探针样品测量
√ 霍尔效应测试选件
√ 超高真空选件
√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境
设备参数：
| 磁场 | ||
| 磁体类型 | 超导螺线管 | |
| 磁场方向 | 垂直方向（垂直于样品面） | |
| 磁场控制 | 电流控制 | |
| 磁场大小 | 最大±25 KOe(±2.5 T) | |
| 磁场均匀性 | 0.5% 10 mm直径；1% 25 mm直径 | |
| 探针针尖移动 | <5μm 整个磁场范围内 | |
| 温度范围 | ||
| 最多配置6个探针臂 | 基础温度4.3 K，温度控制范围4.4 K ~ 400 K | |
| 安装PS-LT低温选件 | 基础温度1.9 K，温度控制范围2 K ~ 400 K | |
| 温度稳定性 | 液氦 | |
| 基础温度 (无加热控制) | ±15 mK | |
| <10 K | ±50 mK | |
| 10 K ~ 100 K | ±20 mK | |
| 101 K ~ 250 K | ±15 mK | |
| 251 K ~ 350 K | ±15 mK | |
| 351 K ~ 400 K | ±50 mK | |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵为标准 | PS-HV-CPX选件 |
| 抽真空时间 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) | 10 min (<1 × 10-3 Torr) |
| 室温 | <5 × 10-4 Torr | <5 × 10-6 Torr |
| 基础温度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 最高温度 | <5 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 循环时间 | ||
| 总循环 | 4 h | |
| 抽真空 | 0.5 h | |
| 探针台冷却 | 2 h | |
| 探针台升温 | 1.5 h | |
| 样品 | ||
| 最大尺寸 | 51 mm(2英寸) | |
| 样品背光接口 | 不可选 | |
| 样品旋转 | ±5°样品面内旋转 | |
| 样品振动 | ＜300 nm（标准），＜30 nm（配置减震选件PS-PVIS） | |
| 探针配置 | ||
| 最大探针数 | 6 | |
| 探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 | |
| 冷却探针支架 | ＜20 K(样品在基础温度下) | |
| 探针支架 | 连接磁体防辐射屏热沉 | |
| 探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
| DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 | |
| 微波探针 | 频率范围从DC到67GHz | |
| 光纤探针 | 可用于电光测量 | |
| 落针范围 | 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 | |
