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Cchip-0019 高深宽比紫外光刻机
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生产厂家苏州中芯启恒科学仪器有限公司
Suzhou Cchip Scientific Instrument CO.,Ltd.
苏州中芯启恒科学仪器有限公司致力于微流控芯片加工工艺及设备的研究,为促进我国微流控技术的发展贡献力量。公司拥有多位微流控技术从业者,有近20多年的技术积累和专业经验,创新性的开发了四套微流控芯片加工工艺线,既PDMS微流控芯片加工工艺、玻璃微流控芯片加工工艺、PMMA微流控芯片加工工艺、低成本小线宽塑料芯片批量压印工艺。基于微流控芯片代加工服务,公司与国内众多高校、研究所、医院及医疗检测公司,建立了长期稳定的合作关系。
中芯启恒提供专业标准的微流控整体解决方案。
我们专注于以下四项工作:
(1)微流控芯片实验室整体组建
公司深耕微流控芯片代工多年,自主开发光刻机、热压机、对准仪、膜厚测量仪、水平台等实验室组建设备。也为加工工艺的优化,选型更适合的SU8光刻胶、PDMS等试剂耗材。
(3)ODM/OEM客户委托设备研发制造
微液滴制备系统、数字液滴DMF芯片平台、自动微滴生成仪、微混合脂质体LNP制备系统、精密压力控制器、流量传感器、压力传感器、等多套设备的选型、研发和调试。
(2)微流控芯片设计和加工
提供PDMS、玻璃、PMMA、COC塑料等材质的芯片加工,提供标准的液滴芯片、LNP合成芯片、空间转录芯片、器官芯片、3D共轴毛细管液滴芯片、各种材质模具加工及芯片夹具定制等相关技术服务。
(4)实验方案外包服务
为客户提供barcode水凝胶微球制备、单细胞包裹、LNP脂质体制备、mRNA 疫苗包封、器官芯片和类器官培养等实验外包服务,并为实验流程优化、工业级放大生产提供技术咨询服务。
产品名称:高深宽比紫外光刻机(曝光机)
产品型号:Cchip-0019
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高深宽比紫外光刻机简介:
微流控芯片的设计结构一般深宽比较大,针对微流控芯片这一特点,中芯启恒自主研发生产了Cchip-0019适用于高深宽比工艺的光刻机。该设备采用目前LED光源,紫外波长365nm,光源纯度高,辐射能量均一可调。设备配有智能化触摸屏操作面板,外观比较传统光刻机体积更小,集成化度更高,不仅简化了操作流程,还进一步提高了工艺效率。
不仅如此,我们还对曝光系统进行了优化,将曝光过程中衍射误差降到极限,保证图案设计值与实际值一致,从而为芯片制作保驾护航。
以下是客户实测图片,结构高度92um,间距20um,请参考!
中芯启恒提供一站式微流控解决方案:
(1)PDMS/玻璃/PMMA等各种材质微流控芯片加工设备、耗材、试剂、配件等服务。
(2)提供微流控芯片光刻实验室、微流控芯片软注塑实验室、微流控芯片封合实验室、微流控实验系统平台组建服务。
(3)公司提供微流控芯片加工技术培训和微流控芯片使用技术培训。