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ZXHP-0021 真空热压键合机
- 型号
- ZXHP-0021
苏州中芯启恒科学仪器有限公司
Suzhou Cchip Scientific Instrument CO.,Ltd.
苏州中芯启恒科学仪器有限公司致力于微流控芯片加工工艺及设备的研究，为促进我国微流控技术的发展贡献力量。公司拥有多位微流控技术从业者，有近20多年的技术积累和专业经验，创新性的开发了四套微流控芯片加工工艺线，既PDMS微流控芯片加工工艺、玻璃微流控芯片加工工艺、PMMA微流控芯片加工工艺、低成本小线宽塑料芯片批量压印工艺。基于微流控芯片代加工服务，公司与国内众多高校、研究所、医院及医疗检测公司，建立了长期稳定的合作关系。
中芯启恒提供专业标准的微流控整体解决方案。
我们专注于以下四项工作：
（1）微流控芯片实验室整体组建
公司深耕微流控芯片代工多年，自主开发光刻机、热压机、对准仪、膜厚测量仪、水平台等实验室组建设备。也为加工工艺的优化，选型更适合的SU8光刻胶、PDMS等试剂耗材。
（3）ODM/OEM客户委托设备研发制造
微液滴制备系统、数字液滴DMF芯片平台、自动微滴生成仪、微混合脂质体LNP制备系统、精密压力控制器、流量传感器、压力传感器、等多套设备的选型、研发和调试。
（2）微流控芯片设计和加工
提供PDMS、玻璃、PMMA、COC塑料等材质的芯片加工，提供标准的液滴芯片、LNP合成芯片、空间转录芯片、器官芯片、3D共轴毛细管液滴芯片、各种材质模具加工及芯片夹具定制等相关技术服务。
（4）实验方案外包服务
为客户提供barcode水凝胶微球制备、单细胞包裹、LNP脂质体制备、mRNA 疫苗包封、器官芯片和类器官培养等实验外包服务，并为实验流程优化、工业级放大生产提供技术咨询服务。
详细信息
产品名称：真空热压键合机
产品型号：ZXHP-0021
1.ZXHP-0021真空热压键合机简介
ZXHP-0021真空热压键合机是苏州中芯启恒科学仪器有限公司独立开发，用于PMMA、PC、PP、COP、COC、BOPET、CBC、树脂（部分）、聚乙烯（部分）等硬质塑料芯片的键合，是国内外硬质塑料微流控芯片加工专用设备。
基于MEMS技术制备的微流控芯片，其表面多种微结构（微通道、微储液池、微孔等）需要经过键合形成密封的微流路才能用于微流控分析。热压键合的原理是，通过外部压力使得工件表面紧密结合，依靠氢键形成初步键合，当键合压力、键合恒温时间一定时，随着键合温度的升高，离子和空穴在交界面上的扩散逐渐加剧，经过一定时间的晶格调整和重构，最后形成一个稳定的结构。
2.ZXHP-0021真空热压键合机的特点
(1) 使用PID恒温控制加热技术，温度控制精确，温度采样频率为0.1s，温度准确稳定；
(2) 采用航空铝加热工作平台，上下面平整，热导速度快，温度均匀；
(3) 上下板加热面积大，满足常用芯片尺寸；
(4) 自动降温系统，采用风冷降温，降温速率均匀，有利于获得较好的键合效果（预留水冷接口，可以满足急速降温工艺需求）；
(5) 压力精确可调，针对不同的材料选用不同的键合压力；
(6) 采用真空热压系统，在保证芯片不损坏的情况下大幅度提高键合成功率。
(7) 具备手动模式和自动模式两种操作模式，自动模式可保存20组参数，每组可设置10段控温参数，方便客户操作，提高键合效率。
3. ZXHP-0021真空热压键合机的技术参数
型号规格 | ZXHP-0021 |
整机规格 | 500×430×760（长×宽×高）mm |
热压面板面积 | 200×200（长×宽）mm（航空铝） |
热压芯片厚度 | 0~140mm |
使用温度范围 | 室温~350℃ |
温控精度误差 | 小于1℃（设定100℃可以恒温保持100℃） |
降温方式 | 风冷/水冷（预留接口） |
工作模式 | 手动模式和自动模式 |
程序控制 | 自动模式可保存20组参数， 每组可设置10段控温参数 |
输入气压 | 0~0.8Mpa |
压力范围 | 0~800kg |
真空度 | -100kpa |
输入电源 | 220 V／50 Hz |
整机输出功率 | 2.1KW |
整机重量 | 约90Kg |
4. ZXHP-0021真空热压键合机的用途
（1）PMMA（亚克力）微流控芯片的热压封合
（2）PC（聚碳酸酯）微流控芯片的热压封合
（3）PP（聚丙烯）微流控芯片的热压封合
（4）COP（环烯烃聚合物）微流控芯片的热压封合
（5）COC（环烯烃类共聚物）微流控芯片的热压封合
5. ZXHP-0021真空热压键合机的特征图解
(1) 真空抽气口；
(2) 真空泄压口；
(3) 设备把手；
(4) 精密调压阀；
(5) 精密数显气压表；
(6) 真空数显表；
(7) 触摸显示屏；
(8)
下板温控数显表；
(9) 上板温控数显表；
(10)
急停按钮；
(11) 电源开关；
(12) 玻璃观察窗；
(13) 舱门把手；
(14) 脚垫；
(15) 下板水冷口；
(16) 上板水冷口；
(17) 保险丝；
(18)
真空泵插座；
(19) 下降气缸节流阀；
(20) 上升气缸节流阀；
(21) 油水过滤器；
(22) 风冷装置。
