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负压或真空腔室用的气体质量流量计及MFC
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ACCU(中文译名精量，即北京精量科技有限公司）主要从事高精度压力、流体介质的测量仪器、仪表、控制器及流量控制系统的研发、生产、销售和服务。
ACCU在专业技术领域已沉淀10余年。掌握了三大与流体流量相关的应用原理：热式、差压、科里奥利（科氏力），并持有多项研发著作权，是自动化控制系统集成商和工业自动化仪表的优质供应商。公司具有强大的技术研发实力，通过与国内高校、研究院所之间的紧密合作，对国外技术进行引进、消化和再创新，使企业始终保持着与先进技术同步。
ACCU坚持以技术研发作为公司发展的基础，将主动性技术创新与需求性研发相结合，为客户提供气体、液体、临界流体的流量及压力的测量及控制提供专业化服务；同时，我们设立有专门的研发定制部门以满足部分客户“小批量非标工况“等个性化定制需求。
ACCU将持续致力于为用户提供性能优异高效、质量稳定可靠的产品和专业优质的服务，把“为客户解决问题”作为核心竞争力。
详细信息
一、负压或真空腔室用的气体质量流量计及MFC 产品概述：
1、精度更高，响应更快，带网口；
2、管状分流，不易堵塞；
3、适用于各种低压和高压管道以及抽真空的环境；
4、预热时间短，零漂小，可靠性高；
5、模拟量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量；
6、数字通讯RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等协议可选；
二、产品应用：
真空镀膜 / 太阳能、氢能等新能源 / 半导体 / 石油石化精细化工 / 电力冶金
环保 / 食品包装 / 生物医药 / 新材料 / 工业制作 / 各种分析仪器 / 制气配气系统
三、负压或真空腔室用的气体质量流量计及MFC 产品参数：
满量程范围：2SCCM～300SLM
准 确 度：±0.5%F.S
线 性：±0.5%F.S
重复精度：±0.2%F.S
响应时间：流量计：＜0.1s； 流量控制器：<0.2s
数 字 量：RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量：0～5V、4-20mA、1～5V
供 电：±15VDC，24VDC
工作温度：0～50℃
工作压降：<0.01Mpa(流量计）
工作压差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）
耐 压：3MPa/10MPa
漏 率：1×10-9SCCSHe
温度系数：±0.025%F.S/℃
底座材质：不锈钢
密封材质：氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯，全氟醚FFKM/FFPM等
接 头：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"… …卡套、法兰、快插、宝塔等。。。
如果所需性能要求与上述性能不同，可以沟通定制。
