- 面议
起订量：
ACU20FDH-LH 沉积设备用高温分体气体流量控制器及流量计
- 型号
- ACU20FDH-LH
ACCU(中文译名精量，即北京精量科技有限公司）主要从事高精度压力、流体介质的测量仪器、仪表、控制器及流量控制系统的研发、生产、销售和服务。
ACCU在专业技术领域已沉淀10余年。掌握了三大与流体流量相关的应用原理：热式、差压、科里奥利（科氏力），并持有多项研发著作权，是自动化控制系统集成商和工业自动化仪表的优质供应商。公司具有强大的技术研发实力，通过与国内高校、研究院所之间的紧密合作，对国外技术进行引进、消化和再创新，使企业始终保持着与先进技术同步。
ACCU坚持以技术研发作为公司发展的基础，将主动性技术创新与需求性研发相结合，为客户提供气体、液体、临界流体的流量及压力的测量及控制提供专业化服务；同时，我们设立有专门的研发定制部门以满足部分客户“小批量非标工况“等个性化定制需求。
ACCU将持续致力于为用户提供性能优异高效、质量稳定可靠的产品和专业优质的服务，把“为客户解决问题”作为核心竞争力。
详细信息
一、产品概述： 沉积设备用高温分体气体流量控制器及流量计
u 可快速精确测量高温气体的体积流量/质量流量
u 采用定制的高速比例控制阀对介质体积流量/质量流量进行精确控制
u 超大可触显示屏，操作方便同时开放模拟输入输出和RS-485数字通讯
u 内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装方向不敏感
u 采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下流体仍旧保持层流运动
u 提供用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
二、产品应用：
-- 已广泛应用于沉积工艺领域，如陶瓷工艺、半导体、光纤等行业使用高温气体的沉积设备。
-- 多变量测量以及50:1量程可调比，使得仅用一台热式高温分体气体质量流量控制器及流量计便可取代多台设备的功效。
-- 精度0.5%FS、重复性0.5%及不到200毫秒的控制响应时间，确保高温的过程气体可以流畅的工作。
三、技术参数：沉积设备用高温分体气体流量控制器及流量计
技 术 指 标 | 质量流量控制器 | 质量流量计 | |
量程范围 | 2SCCM~300SLM | ||
精度 (调零后标准条件下) | ±0.5%F·S（满量程） | ||
重复精度 | ±0.5%F·S | ||
流量控制比 /测量范围 | 2%~100%F·S/50：1 | 1%~100%F·S/100：1 | |
工作温度 | 过流部分：（90~150℃），控制部分：0~70℃ | ||
漏率 | ＜2×10-9 Pa m³/S | ||
机 械 部 件 | 最大工作压力 | 3 MPa / 10MPa | |
密封材质 | 氟橡胶、全氟醚、金属密封 | ||
防护等级 | IP40 | ||
底座材质 | 不锈钢 | ||
气路接头 | φ6，φ8，φ10，φ12，卡套、VCR等 | ||
电 气 性 能 | 单色LCD显示屏 | 同时显示实时流量、设定流量 | |
数字通讯 | 可选：RS232/485，Modbus协议、Profibus协议、DeviceNet协议 | ||
模拟输入输出信号 | 0~5VDC/4~20mA | ||
电信号接口 | B9孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插 | ||
供电电压 | ±15VDC，24VDC | ||
