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DX-7系列晶棒及晶片角度测量仪
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DX-7 系列晶棒及晶片角度测量仪
产品简介: DX-7 系晶棒及晶片角度测量仪是双侧工作台,可同时进行操作,用于对晶棒及晶片的角度进行 测量。
DX-7 系列晶棒、晶片角度测量仪参数对比表
型 号 | DX-7B | DX-7BG | ||
主要特点 | 设备构造:设备分为落地式一体机。 外型尺寸: 1132 (长)× 642 (宽)× 1200(高) mm。 | |||
样式 1 | 样式 2 | 样式 3 | ||
功能 | 可测量晶棒的端面和柱面, 也可以测 量晶片。 | 带有六方型刻度贴片板, 可测量晶片端面 | 可测量晶片参考边 | |
被测晶 体尺寸 | 2-6 寸晶棒、 长度 L≤320mm, 2-6 寸晶片。 | 2-6 寸晶棒、长度 L≤100mm, 2-6 寸晶片。 | 2-6 寸晶片。 |
工作台 图片 | ||||
配套 夹具 | ①V 型夹具(测量晶棒端面时使用) ②底板(测量有参考面的晶棒端面时 使用) | 无需夹具 | 无需夹具 | |
工作台:以上是常见工作台,可根据客户需要, 任选以上 2 种样品台进行组合,也可以双侧一样,还可 以根据被测的晶体尺寸,及晶体被测方位来特殊设计。 | ||||
设备精度 | 设备综合精度为±30″ (以供方提供的标准石英片 10ī1 面测量) | 设备综合精度为±15″ (以供方提供的标准石英片 10ī1 面测量) | ||
最小读数 | 10″ | |||
仪器配置 | DX-7B 和 DX-7BG 型 X 射线单晶定向仪由机台、 管套及各种机械附件组成的机械部分; 由稳压器、控制器、 高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、 X 射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成。 | |||
技术指标 | (1) X 射线发生器部分: X 射线管:铜靶,风扇冷却,阳极接地。 管电压: 30KVP,全压合闸。 管电流: 0—5mA 连续可调, 使用 2.0mA 以上, 有可能损坏 X 光管并加大辐射危害。 | |||
(2)输入电源: 单相交流 220V,50Hz,整机总耗电功率不大于 0.3 KW 。 (3)角度测量范围: 2 θ角:- 10~+110° θ角:-5~+55°。 | ||||
衍射方式 | 单衍射 | 双衍射 | ||
放大系统 | 传统放大器 | 新型放大器 | ||
接收系统 | 计数管计数率为 104/秒 | 计数管计数率为 108/秒 |
(是普通系列的 1 万倍) | ||
接收器寿命 | 1 年 | 3 年以上 |
X 光管寿命 | 按照国家标准 400 小时 (X 光管可以使用 3-4 个月) | 是正常使用状况下的 2-3 倍 (X 光管至少可以使用一年) |
X 管电流强度 | 1-1.5mA | 0.5-1.0mA |
测量和使用效果 | X 光管使用 2-3 个月有可能出现多个假峰,影响 准确度。 需要经常更换 X 光管,影响生产效率。 | 可以滤掉 X 光管的杂峰,不存在假峰现象。 X 光管可 以使用 1 年左右,不需要频繁调整机器。 |
精度 | 精度±30 秒(或±0.008 度) | 精度±15 秒(或±0.004 度) |
辐射 | 测量时使用 mA 量越来越大,射线辐射量较大。 | 测量时使用 mA 量小,射线辐射量较小。 |