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DX-7系列晶棒及晶片角度测量仪

型号
北京鸿瑞正达科技有限公司

高级会员1年 

经销商

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详细信息

DX-7 系列晶棒及晶片角度测量仪


img1


产品简介: DX-7 系晶棒及晶片角度测量仪是双侧工作台,可同时进行操作,用于对晶棒及晶片的角度进行 测量。



DX-7 系列晶棒、晶片角度测量仪参数对比表




 

DX-7B

DX-7BG

主要特点

设备构造:设备分为落地式一体机。

外型尺寸: 1132 (长)× 642 (宽)× 1200(高) mm。


样式 1

样式 2

样式 3


功能

可测量晶棒的端面和柱面, 也可以测 量晶片。

带有六方型刻度贴片板, 可测量晶片端面

可测量晶片参考边

被测晶 体尺寸

2-6 寸晶棒、 长度 L≤320mm,

2-6 寸晶片。

2-6 寸晶棒、长度 L≤100mm,

2-6 寸晶片。

2-6 寸晶片。








工作台 图片

img2

img3

img4


配套

夹具

①V 型夹具(测量晶棒端面时使用)


②底板(测量有参考面的晶棒端面时 使用)


无需夹具


无需夹具

工作台:以上是常见工作台,可根据客户需要, 任选以上 2 种样品台进行组合,也可以双侧一样,还可

以根据被测的晶体尺寸,及晶体被测方位来特殊设计。


设备精度

设备综合精度为±30″


(以供方提供的标准石英片 10ī1 面测量)

设备综合精度为±15″


(以供方提供的标准石英片 10ī1 面测量)

最小读数

10″

仪器配置

DX-7B  DX-7BG  X 射线单晶定向仪由机台、 管套及各种机械附件组成的机械部分; 由稳压器、控制器、 高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、 X 射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成。







技术指标

(1) X 射线发生器部分:


X 射线管:铜靶,风扇冷却,阳极接地。

管电压: 30KVP,全压合闸。


管电流: 0—5mA 连续可调, 使用 2.0mA 以上, 有可能损坏 X 光管并加大辐射危害。


(2)输入电源: 单相交流 220V,50Hz,整机总耗电功率不大于 0.3 KW 


(3)角度测量范围:


2 θ角:- 10~+110° θ角:-5~+55°。

衍射方式

单衍射

双衍射

放大系统

传统放大器

新型放大器

接收系统

计数管计数率为 104/秒

计数管计数率为 108/秒






(是普通系列的 1 万倍)

接收器寿命

1 

3 年以上


X 光管寿命

按照国家标准 400 小时

(X 光管可以使用 3-4 个月)

是正常使用状况下的 2-3 

(X 光管至少可以使用一年)

X 管电流强度

1-1.5mA

0.5-1.0mA

测量和使用效果

X 光管使用 2-3 个月有可能出现多个假峰,影响 准确度。 需要经常更换 X 光管,影响生产效率。

可以滤掉 X 光管的杂峰,不存在假峰现象。 X 光管可 以使用 1 年左右,不需要频繁调整机器。

精度

精度±30 秒(或±0.008 度)

精度±15 秒(或±0.004 度)

辐射

测量时使用 mA 量越来越大,射线辐射量较大。

测量时使用 mA 量小,射线辐射量较小。


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