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VTC-200P真空旋转涂膜机
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产品简介: VTC-200P 真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。 本机可用于强 酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。 VTC-200P 真空旋转涂膜机腔体不可抽真空, 工作时利用真空盘吸附的 方式将样品固定在载样盘上,该设备可储存 12 组程序,每组程序包含 6 个运行阶段。不同运行阶段设备转 数不同, 使设备缓慢提升速度限速度, 有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜, 且不会过多浪费, 节约 材料。 腔室的上盖可以对样品进行加热(可选功能) ,有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆过程的进行。 VTC-200P 真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所 的实验室中进行薄膜的生成过程。
产品名称 | VTC-200P 真空旋转涂膜机 | |
产品型号 | VTC-200P | |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 | |
1、水:设备配有进出水口 | ||
2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地 | ||
3、气:不需要 | ||
4、工作台: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上 | ||
5、通风装置:需要 | ||
主要特点 |
时间范围: 0—60s。 |
2、真空吸附方式固定样件,操作简便。 3、吸盘真空度可以达到-0.08MPa。 | |
4、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。 5、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。 6 、电机采用 24V 直流无刷电机,无级调速,可靠性高,适应性强,维修与保养简单,噪音低, 震动小,运转平稳,启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。 7、本机可置于手套箱内使用,但控制部分与真空泵需置于箱外。 8 、可在惰性气体气氛(如 Ar 、N2 )下进行涂层。 | |
9、采用无油双杠真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。 10、腔体通体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能。 11、全英文操作系统。 12、具有开盖保护功能,当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止 13、控制器采用单控制箱,液晶显示数值,更直观可靠。 | |
技术参数 | 1、电源: 220V 50HZ 2、电机功率: 350W/24V 3、转速: 500rpm-6000rpm 之间可调 4.可储存 12 组程序, 每组程序包含 6 个运行阶段, 5、每段增减速率设置范围: 100 rpm s—2000 rpm /s,每段时间范围: 0-60s 6、吸盘规格φ 100mm 7、本机可选配加热功能: 加温范围 RT-99% |
加热盖,水槽及吸盘采用聚丙烯材质 温度单独控制,与主机程序控制无关联 | |||
产品规格 | 尺寸:φ250mm×360mm;重量: 20kg | ||
标准配件 | 1 | φ100mm 真空吸盘 | 1 个 |
2 | O 型胶圈 | 1 个 | |
3 | 滴液器 | 1 个 | |
4 | 滴液器支架 | 1 个 | |
中心定位器 | |||
5 | 1 个 | ||
6 | 无油真空泵 | 1 台 | |
可选配件 | 进口移液器 |
国产移液枪 | |
其它尺寸的真空吸盘 |
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