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平场光谱仪
X射线精细结构（XAFS）谱仪，真空紫外分光光度计、CT型真空紫外光谱仪，平场光谱仪，超环面光栅单色器
创谱仪器基于多年同步辐射线站光学及谱学设备设计、研发、交付的技术和经验积累，聚焦X射线到真空紫外波段的核心器件、模组和分析测试系统，致力于为大科学装置、物理/化学/材料等前沿科学研究以及半导体与集成电路、新能源与储能技术、新材料、化学化工与生物医药等产业领域提供短波光学和短波光谱学解决方案。
详细信息
平场光谱仪，采用全息凹球面变线距光栅进行分光，具有平场特性，便于使用面阵CCD记录光谱。光栅工作在掠入射模式下，衍射效率高，同时通过选用不同的光栅型号，可以实现波长范围0.6~200nm的全覆盖。
平场光谱仪可应用于强场与高密度物理、半导体与集成电路制造和探测器、光源计量级标定。
主要参数：
● 光栅类型： 凹球⾯变线距光栅
● 波⻓范围： 0.6~200nm(选配)
● 光谱分辨率： 0.015nm@13.5nm， 可根据需求优化
● 探测器类型： 科研级相机
● 前置收光可选
● 具备远程激光快速瞄准定位功能
● ⾼真空兼容，5×10-3 Pa
● 具有5μm~300μm在线连续可调狭缝
光栅参数：
选配范围：
测试数据：
应用领域：
