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⾼分辨平场光谱仪
X射线精细结构（XAFS）谱仪，真空紫外分光光度计、CT型真空紫外光谱仪，平场光谱仪，超环面光栅单色器
创谱仪器基于多年同步辐射线站光学及谱学设备设计、研发、交付的技术和经验积累，聚焦X射线到真空紫外波段的核心器件、模组和分析测试系统，致力于为大科学装置、物理/化学/材料等前沿科学研究以及半导体与集成电路、新能源与储能技术、新材料、化学化工与生物医药等产业领域提供短波光学和短波光谱学解决方案。
详细信息
⾼分辨平场光谱仪，采⽤全息凹球⾯变线距光栅进⾏分光，具有平场特性，便于使⽤⾯阵CCD记录光谱。光栅⼯作在掠⼊射模式下，衍射效率⾼，同时通过选⽤不同的光栅型号，可以实现波⻓范围1~30nm的全覆盖。
产品特点：
1、高光谱分辨
2、在线精密可调狭缝
3、远程激光瞄准定位
4、结构紧凑集成度高
5、高真空兼容性
主要参数：
· 光源类型：凹面变距光栅 · 波长范围：1~30nm(选配)
· 探测器类型：科研级相机 · 高真空兼容:5x105Pa
· 光谱分辨率：2500@6nm/3000@30nm（可根据需求优化）
· 在线连续可调狭缝：5μm~300μm
选配范围：
光栅参数：
应用领域：
· 强场与高能量密度物理
· 半导体与集成电路制造
· 探测器、光源计量级标定
