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QUASAR-R100系列 反射式膜厚仪
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- QUASAR-R100系列
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详细信息
反射式膜厚仪 QUASAR-R100系列
反射式膜厚仪 QUASAR-R100 是一款体积小巧的光谱反射式膜厚、折射率等测量仪器，操作简单，极易上手，应用广泛，快速准确的提供各种薄膜厚度的测量，如氧化物、氮化物、多晶硅、非晶硅、聚酰亚胺、透明导电层、光刻胶等介质薄膜、半导体薄膜以及各种涂层。广泛应用于半导体、太阳能、LED、OLED、液晶、聚合物镀膜及科研实验室镀膜等领域。反射式膜厚仪QUASAR-R100软件还拥有丰富的的材料数据库。客户还可以通过软件及自带数据库对材料，菜单进行管理，并具有丰富的数据查看、统计功能。
反射式膜厚仪 QUASAR-R100产品的特点
~多参数测量
可测量材料厚度、折射率（Refractive Index）、 消光系数（Extinction Coefficient）和反射率。
~各种形状样品测量
可测量例如4~8英寸的晶圆、方形样品或其他各种不规则形状样品。
~软件功能丰富
友善的用户界面以及灵活丰富的软件功能，各种丰富的数据分析及查看功能。
~简单、易用
测量流程简单，用户极易上手建立测量程式。
反射式膜厚仪 QUASAR-R100应用的领域
~半导体镀膜
~光刻胶
~抗反膜测量
~蓝宝石镀膜
~ITO 玻璃
~液晶面板镀膜
~太阳能镀膜
~汽车硬度层厚度
~其他介质膜厚度
反射式膜厚仪 QUASAR-R100 产品的参数规格
型号 | Quasar R100 |
厚度测量范围 | 15nm~10um |
光源 | 380-1100nm |
测量n和k最小厚度 | 50nm |
准确度（较大者） | 2nm |
or 0.2% | |
精度★(1σ) | 0.02nm |
稳定性★ (1σ) | 0.04nm |
光斑尺寸 | 标准1.5mm |
可选配最小20um | |
样品大小 | 直径1mm~3mm，以及更大 |
★Si基底上对厚度约500nm的SiO2薄膜样品连续测量30次数据的标准偏差
~产品的定制功能
可根据客户需求搭配自动运动平台
可根据客户需求配置小光斑
