- 面议
起订量：
膜厚量测椭偏仪 QUASAR-E100系列
- 型号
爱蛙科技（iFrog Technology）致力于应用光谱知识来开启认知和解决问题，帮助工业界和科研人员应对新时代新课题的挑战，利用光的力量促进更健康、更安全、更环保的发展。北京爱蛙科技有限公司是海洋光学（Ocean Insight）合作伙伴，提供光谱分析仪器销售、租赁、维护，以及解决方案定制、软件开发在内的全链条一站式精准服务。
详细信息
膜厚量测椭偏仪 QUASAR-E100系列
椭偏仪 QUASAR-E100是一款桌面式光谱椭偏膜厚仪，它为客户提供更加准确和更加稳定的厚度和折射率测量，广泛应用于科研、半导体、液晶、太阳能制造等领域，适用于对厚度和折射率测量有更高精度要求的应用场景
椭偏仪 QUASAR-E100产品的特点
~各种尺寸样品测量
可测量如4-12英寸的晶圆及其他各种不规则形状样品
~测量精度和稳定性高
相对于反射仪，QUASAR-E100可提供更高精度的测量，且可提供极薄膜的测量
~多参数测量
可测量材料厚度、折射率和消光系数
~操作简单且功能丰富
用户无需过多培训即可轻松掌握测量流程及建立菜单，数据查看、统计和分析功能丰富
椭偏仪 QUASAR-E100产品的参数
产品型号 | Quasar E100A | Quasar E100P |
厚度测量范围 | 0~5um | 0~5um |
光源 | 卤素灯（380-1000nm） | 氙灯（193-1000nm） (option: 193~1700nm) |
入射角 | 65度 | 65度 |
数据采集时间 | 0.6-2秒 | 0.6-2秒 |
光斑尺寸 | 1mm~5mm | 25X60um（可做圆形光斑） |
自动运动平台 | Option | Option |
准确度 | <0.3% | <0.3% |
精度★ (1σ) | 0.05nm | 0.01nm |
★Si基底上对厚度小于30nm的SiO2薄膜样品连续测量30次数据的标准偏差
椭偏仪 QUASAR-E100定制功能
可根据客户需求配置不同的光源，以实现不同性能的测量
可根据客户需求搭配自动运动平台
可根据客户需求配置小光斑
椭偏仪 QUASAR-E100样品实测数据
准确性 /精度
Accuracy(A) | |
Thickness（Target） | Quasar E100 |
18 | -0.16 |
111 | -0.58 |
271 | 0.84 |
623 | -0.28 |
1152 | -1.54 |
4506 | 2.30 |
10466 | -1.04 |
Precision(A) 1σ | |
Thickness（Target） | Quasar E100 |
18 | 0.079 |
111 | 0.042 |
271 | 0.053 |
623 | 0.050 |
1152 | 0.040 |
4506 | 0.052 |
10466 | 0.0011% |
