$item.Name

首页>半导体行业专用仪器>光刻及涂胶显影设备>匀胶机

可编程不锈钢匀胶机

型号
安赛斯(北京)科技有限公司

中级会员6年 

生产厂家

该企业相似产品

可编程匀胶机(旋涂仪)

在线询价

可编程匀胶机(旋涂仪)

在线询价

可编程匀胶机(旋涂仪)

在线询价

可编程匀胶机(旋涂仪)

在线询价

可编程匀胶机(旋涂仪)

在线询价

可编程匀胶机(旋涂仪)

在线询价

可编程匀胶机(旋涂仪)

在线询价

不锈钢匀胶机150PE

在线询价
超声波扫描显微镜,X射线实时成像系统,工业CT,水浸超声C扫描系统,气体发生器,离心机,匀胶机烤胶机

安賽斯公司(ANALYSIS Crop.是一家专门从事科研仪器研发、生产和销售的综合性科技企业,公司总部位于香港繁华的中环中心商务区,设有研发和销售中心;北京分公司,位于北京市海淀区西三旗科技园,设有检测实验室和销售中心。安赛斯(北京)科技有限公司具有中华人民共和国A类资质的进出口企业,是国家税务局纳税诚信单位。

安赛斯公司依靠国际化专业人才和技术团队,为高等院校、科研院所和科技企业提供分析测试仪器和制造设备,我们的专业供应的产品主要有:

无损检测设备包括:高精度超声扫描显微镜、全自动水浸超声C扫描检测系统、喷水式超声检测系统、空气耦合超声检测系统、声发射检测系统、微焦点X射线检测系统、高分辨率计算机断层扫描系统(CT)等,用于半导体器件、封装壳体、金属材料、高纯靶材、碳纤维复合材料等材料或器件内部的孔隙、裂纹、分层等缺陷检测,广泛应用于半导体、航空航天、军工、船舶、冶金、铁路、石油、风电等各行业。

薄膜类制备设备包括:可编程匀胶机旋涂仪、清洗显影机、烤胶机热板等。广泛应用于钙钛矿薄膜太阳能电池、半导体科研、有机光电器件和材料等纳米薄膜制备领域。

实验室理化设备:光弹系数测试仪、精密实验炉设备、精密离心机、热阻分析仪等,广泛应用于材料内部应力集中情况测试、材料热处理工艺、溶液中悬浮物质离心分离、分立功率器件热阻测试及分析等。

         公司始终坚持诚信、专业的发展理念,用全球视角,引入先进的技术与产品,为国内用户提供本地化的专业服务;始终以为客户提供"更丰富的产品选择,更经济的解决方案,更全面的专业服务"为使命,为客户提供好的支持,与客户同成长、共辉煌。

详细信息



产品介绍:



  称:可编程不锈钢匀胶机

  号:HC220PE

  用:HC220PE可编程不锈钢匀胶机,采用高精度工业伺服电机,配置8英寸人机界面,清晰的编程程序界面设置,易学易用。适合半导体行业及科研院所,实验室级的研究开发。适合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。

 

产品概述:



  HC220PE可编程不锈钢匀胶机,采用高级PLC 模块,工业级伺服电机,全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。
  设备采用工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和可重复性。

 

性能参数:



l  旋涂程序:采用与track设备类似的程序与设计,最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒;

l  电机速度:0-10,000rpm;

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载);

l  马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm

l  转速调节精度<1rpm

l  重复性< 1rpm;

l  工艺时间设定: 0-3,000 sec/step

l  时间设置精度:0.1sec;

l  支持wafer尺寸1cm-200mm8”圆晶);

l  旋涂作业均匀性:< ±3% 6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量);

 

产品特点:




l  用高级PLC模块,工业级伺服电机;

l  8英寸彩色触屏控制,人机界面;

l HDPE高分子内腔,耐腐蚀,易清洁,带排废功能;

l内腔壁采用凹面设计,有效防溅;

l可编程写和存储100组程序,每组100步;

l带真空度安全互锁检测功能;

l带盖子安全互锁检测功能;

l带排废接口;

l具有电机进胶保护功能;

l管路易疏通设计;

l具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能;

l正、反转旋涂方向可自由切换;

l旋涂参数可设置循环执行;

l速度-时间曲线实时显示;

l配置四个自动点胶接口,可升级多路自动点胶系统;

l可设置用户密码保护功能;

l配置可调基座,方便调节水平;

 

 

 


 

 

 

 

 

 

 

          不同尺寸的载物盘

 

 

产品外型尺寸:
       
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)    


相关技术文章

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

请选择您要拨打的电话:

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :