起订量:
可编程不锈钢匀胶机
中级会员第6年
生产厂家安賽斯公司(ANALYSIS Crop.)是一家专门从事科研仪器研发、生产和销售的综合性科技企业,公司总部位于香港繁华的中环中心商务区,设有研发和销售中心;北京分公司,位于北京市海淀区西三旗科技园,设有检测实验室和销售中心。安赛斯(北京)科技有限公司具有中华人民共和国A类资质的进出口企业,是国家税务局纳税诚信单位。
安赛斯公司依靠国际化专业人才和技术团队,为高等院校、科研院所和科技企业提供分析测试仪器和制造设备,我们的专业供应的产品主要有:
无损检测设备包括:高精度超声扫描显微镜、全自动水浸超声C扫描检测系统、喷水式超声检测系统、空气耦合超声检测系统、声发射检测系统、微焦点X射线检测系统、高分辨率计算机断层扫描系统(CT)等,用于半导体器件、封装壳体、金属材料、高纯靶材、碳纤维复合材料等材料或器件内部的孔隙、裂纹、分层等缺陷检测,广泛应用于半导体、航空航天、军工、船舶、冶金、铁路、石油、风电等各行业。
薄膜类制备设备包括:可编程匀胶机旋涂仪、清洗显影机、烤胶机热板等。广泛应用于钙钛矿薄膜太阳能电池、半导体科研、有机光电器件和材料等纳米薄膜制备领域。
实验室理化设备:光弹系数测试仪、精密实验炉设备、精密离心机、热阻分析仪等,广泛应用于材料内部应力集中情况测试、材料热处理工艺、溶液中悬浮物质离心分离、分立功率器件热阻测试及分析等。
公司始终坚持“诚信、专业”的发展理念,用全球视角,引入先进的技术与产品,为国内用户提供本地化的专业服务;始终以为客户提供"更丰富的产品选择,更经济的解决方案,更全面的专业服务"为使命,为客户提供好的支持,与客户同成长、共辉煌。
产品介绍:
名 称:可编程不锈钢匀胶机
型 号:HC220PE
应 用:HC220PE可编程不锈钢匀胶机,采用高精度工业伺服电机,配置8英寸人机界面,清晰的编程程序界面设置,易学易用。适合半导体行业及科研院所,实验室级的研究开发。适合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
产品概述:
HC220PE可编程不锈钢匀胶机,采用高级PLC 模块,工业级伺服电机,全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。
设备采用工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和可重复性。
性能参数:
l 旋涂程序:采用与track设备类似的程序与设计,最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒;
l 电机速度:0-10,000rpm;
l 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载);
l 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm;
l 转速调节精度<1rpm;
l 重复性< 1rpm;
l 工艺时间设定: 0-3,000 sec/step;
l 时间设置精度:0.1sec;
l 支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圆晶);
l 旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量);
产品特点:
l 用高级PLC模块,工业级伺服电机;
l 8英寸彩色触屏控制,人机界面;
l HDPE高分子内腔,耐腐蚀,易清洁,带排废功能;
l内腔壁采用凹面设计,有效防溅;
l可编程写和存储100组程序,每组100步;
l带真空度安全互锁检测功能;
l带盖子安全互锁检测功能;
l带排废接口;
l具有电机进胶保护功能;
l管路易疏通设计;
l具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能;
l正、反转旋涂方向可自由切换;
l旋涂参数可设置循环执行;
l速度-时间曲线实时显示;
l配置四个自动点胶接口,可升级多路自动点胶系统;
l可设置用户密码保护功能;
l配置可调基座,方便调节水平;
不同尺寸的载物盘
产品外型尺寸:
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)