ZEM20台式扫描电子显微镜操作简便，仅需鼠标即可完成所有操作，一体式聚光镜，无需手动调节光阑。

信号采集带宽高达10M，扫描速度快，视频模式下实时观察样品。

丰富的原位拓展功能，可兼容自研原位电镜附件（拉伸样品台、加热台、TEC冷台等）。

ZEM20台式扫描电子显微镜参数：

环境要求：AC 220V，50Hz，1kW，无需减震台

加速电压：3kV~20kV连续可调，1kV步进

电子枪：预对中钨灯丝，一体式聚光镜，无需手动调节物镜光阑，可选配LaB6灯丝

放大倍数： 200 -- 360000倍

探测器：二次电子探测器、四分割背散射电子探测器、集成式能谱仪

样品台行程：

三轴：X: 54mm, Y: 60mm & Z轴电动模块27mm

五轴样品台：X：90mm, Y：50mm, Z：32mm, R：360°,T：-10°-90°

减速模式：标配0-10KV样品台高压减速

超大样品舱：长185mm*宽176mm *高125mm

样品尺寸：

两轴：120mm * 100 mm、高度75mm

五轴：120mm * 100 mm、高度32mm

工作距离：5-80mm

真空模式：

高真空模式：抽真空时间小于30s

低真空模式：选配，低真空1-100Pa自动控制

成像模式：

视频模式：512x 512像素，无需小窗口扫描；

快速模式：扫描时间小于3秒，512 x 512像素；

慢扫模式：扫描时间小于40秒，2048 × 2048像素；

图像格式：BMP, TIFF,JPEG,PNG

导航功能：光学CCD导航，舱内摄像头，可实时观察样品舱内情况

整机尺寸：主机：长650mm *宽370mm*高642mm; 机械泵：454mm*165mm*252mm

软件升级：自动亮度对比度、自动聚焦、自动消像散、大图拼接

拓展功能：兼容泽攸科技多种原位功能样品台（拉伸台、加热台、TEC冷台等原位测试系统）。

产品特色：

操作简便： 仅需鼠标即可完成所有操作，一体式聚光镜，无需手动调节光阑。

成像快速： 抽真空时间小于30s，光学导航&舱内摄像头，支持快速找样，样品舱实时观察，软件支持自动亮度对比度、自动聚焦、自动消像散、大图拼接。

显示流畅： 信号采集带宽高达10M，扫描速度快，视频模式下实时观察样品，无重影、拖影，不错过每一个细节。

信号多样： 二次电子探测器、四分割背散射电子探测器、集成式能谱仪等多种探测器。（SE+BSE模式：同时采集，任意叠加）。

性能突出：加速电压连续可调，标配样品台减速功能，选配低真空模式，超大样品舱，适应多种类型样品和原位测试功能。

体积小巧：无需特装设备间和额外减震台，常规市电即插即用。

原位拓展：丰富的原位拓展功能，可兼容自研原位电镜附件（拉伸样品台、加热台、TEC冷台等）。

售后无忧： 国内自主研发，提供完备的高性价比售后服务。厂家在北京、上海、安徽、东莞等多个办事处提供样机demo服务。

ZEM20 台式扫描电子显微镜

可拓展原位电镜附件列表：

SEM芯片加热台，SEM加热炉，SEM电池台，SEM液体电化学台，SEM气体台，SEM拉伸台，SEM-TEC冷台，SEM液氮冷台，SEM电学探针台，SEM通光等扫描电镜原位测试系统。