蔡司 Sigma系列场发射扫描电子显微镜：用于高品质成像与高级分析的场发射扫描电子显微镜

灵活的探测，4步工作流程，高级的分析性能

将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合，利用成熟的 Gemini 电子光学元件。多种探测器可选：用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma 半自动的4步工作流程节省大量的时间：设置成像与分析步骤，提高效率。

蔡司 Sigma系列场发射扫描电子显微镜性价比高。Sigma 500 装配有背散射几何探测器，可快速方便地实现基础分析。任何时间，任何样品均可获得精准可重复的分析结果。

（一）、产品特点

1. 用于清晰成像的灵活探测

• 利用探测术为您的需求定制 Sigma，表征所有样品。

• 利用 in-lens 双探测器获取形貌和成份信息。

• 利用新一代的二次探测器，获取高达50%的信号图像。在可变压力模式下利用 Sigma 创新的 C2D 和 可变压力探测器，在低真空环境下获取高达85%对比度的锐利的图像。

2. 自动化加速工作流程

• 4步工作流程让您控制 Sigma 的所有功能。在多用户环境中，从快速成像和节省培训首先，先对样品进行导航，然后设置成像条件。

• 首先，先对样品进行导航，然后设置成像条件。

• 接下来对样品感兴趣的区域进行优化并自动采集图像。最后使用工作流程的一步，将结果可视化。

3. 高级分析型显微镜

• 将扫描电子显微镜与基本分析相结合：Sigma 背散射几何探测器大大提升了分析性能，特别是对电子束敏感的样品。

• 在一半的检测束流和两倍的速度条件下获取分析数据。

• 获益于8.5 mm 短的分析工作距离和35°夹角，获取完整且无阴影的分析结果。

4. 基于成熟的 Gemini 技术

• Gemini 镜头的设计结合考虑了电场与磁场对光学性能的影响，并将场对样品的影响降至更低。这使得即使对磁性样品成像也能获得出色的效果。

• Gemini in-lens 的探测确保了信号探测的效率，通过二次检测(SE)和背散射(BSE)元件同时减少成像时间。

• Gemini 电子束加速器技术确保了小的探测器尺寸和高的信噪比。

5. 用于清晰成像的灵活探测

• 利用新的探测技术表征所有的样品。

• 在高真空模式下利用创新的 ETSE 和 in-lens 探测器获取形貌和高分辨率的信息。

• 在可变压力模式下利用可变压力二次电子和 C2D 探测器获取锐利的图像。

• 利用 aSTEM 探测器生成高分率透射图像。

• 利用 BSD 或者 YAG 探测器进行成份分析。

（二）、配件

1. SmartEDX

为您带来一体化能谱分析解决方案

如果单采用SEM成像技术无法全面了解部件或样品，研究人员就需要在SEM中采用能谱仪（EDS）来进行显微分析。通过针对低电压应用而优化的能谱解决方案，您可以获得元素化学成分的空间分布信息。得益于：

• 优化了常规的显微分析应用，并且由于氮化硅窗口优秀的透过率，可以探测轻元素的低能X射线。

• 工作流程引导的图形用户界面极大地改善了易用性，以及多用户环境中的重复性。

• 完整的服务和系统支持，由蔡司工程师为您的安装、预防性维护及保修提供一站式服务。

2. 拉曼成像与扫描电镜联用系统

集成化的拉曼成像

在您的数据中加入拉曼光谱及成像结果，获得材料更丰富的表征信息。通过扩展蔡司Sigma 300，使其具备共聚焦拉曼成像功能，您能够获得样品中的化学指纹信息，从而指认其成分。

• 识别分子和晶体结构信息

• 可进行3D分析，在需要时可关联SEM图像、拉曼面扫描成像和EDS数据

• 集成RISE让您体验由SEM和拉曼系统带来的优势。

3. 基于蔡司场发射扫描电镜的原位实验平台

通过集成的一体化解决方案建立材料性能与微结构之间的关联

蔡司开发了自动化的原位加热与拉伸实验平台，能够向您揭示材料微结构的变化是如何影响材料宏观性能的。基于此平台，能够自动观察材料在加热和拉伸过程中的变化，并随时绘制材料的拉力-应力曲线。通过集成该原位加热与拉伸实验解决方案，将极大的扩展您的蔡司场发射扫描电镜的功能，从而助力金属，合金，高分子材料，塑料，复合材料以及陶瓷等材料的深入研究。

该原位实验平台将力学拉伸/压缩样品台，加热单元，以及专为高温环境设计的二次电子和背散射电子探测器，与EDS和EBSD分析相结合。得益于蔡司Gemini电子光学镜筒设计，使上述原位硬件的集成变得非常简单。所有系统部件均通过安装于单台电脑上的统一的软件界面控制，从而实现了自动化的，无人值守的材料测试过程。系统允许定义多个感兴趣区域（ROI），并通过自动特征点追踪功能，为您重新定义了自动化连续成像和分析（例如EDS和EBSD）的标准。

安装在SEM仓室内的拉伸/加热台

优势：

• 简单而快速的实验设置，在数据采集过程中无需人工监视

• 自动化的原位实验流程，保证了数据采集具有高重复性，高精度，以及不依赖于操作人员的高可靠性

• 同时保证高通量和高分辨数据采集，可快速获得在统计意义上具有代表性的结果

• 高质量的数据保证了可靠的后期数据处理，例如由可使用GOM开发的数字图像关联（DIC）技术软件处理产生的应力分布图

• 简便的数据管理