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蔡司离子束显微镜ORION NanoFab
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北京仪光科技，专注显微形貌分析！
北京仪光科技有限公司是一家专门从事三维共聚焦白光干涉轮廓仪、台式扫描电镜/台阶仪/电镜原位分析、各进口及国产品牌的金相显微镜、体式显微镜、偏光显微镜、超景深显微镜、大型扫描电子显微镜、超薄切片机、清洁度分析仪、金相及岩相制样设备、显微相机、冷热台、阴极发光台、光学平台等各类型科研分析仪器。提供制样、显微观察、三维形貌分析和特殊应用检测等全套分析检测解决方案。
我司代理西班牙Sensofar三维共聚焦白光干涉仪、德国徕卡等进口及国产各类型光学显微镜、安徽泽攸台式扫描电镜&台阶仪&电镜原位分析、美国RMC超薄切片机/半薄切片机、德国蔡司大型扫描电镜、丹麦司特尔金相制样、英国Linkam冷热台、阴极发光台、防震平台等材料制备及微观分析仪器。我们的客户涵盖高校、科研院所、农林、医疗、石油石化、地质、文博、船舶、汽车、工业材料、电子半导体、电力、能源、检测分析等各个行业。我们致力于以开放的视野、专业的技术、优质的服务为科研和工业等用户提供专业、全面的显微形貌分析应用解决方案。
愿景：让科学研究和技术创新更便捷、更高效！
使命：为材料用户提供准确、可靠、全面的毫米级到纳米级样品制备及微观形貌分析解决方案!
详细信息
集 3 种聚焦离子束于一身的蔡司离子束显微镜ORION NanoFab，可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工
快速、精准的亚 10 纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换：
氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工。
氦离子束可以加工亚 10nm 级精度的结构。
备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀。
ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身，是能实现从微米到纳米微加工的成像加工系统。
（一）、蔡司离子束显微镜ORION NanoFab特点
1. 快速亚 10 nm 结构加工
使用氖和氦离子束加工有超高精度要求的精细亚 10 纳米结构。无论是使用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是光刻技术刻蚀材料，在亚 10nm 加工应用中 ORION NanoFab 均表现不凡。
2. 集三种离子束显微技术于一体
使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料。利用精准的氖离子束快速完成微加工，利用氦离子束加工精细的亚 10 纳米级结构。利用氦和氖离子还可以防止传统 FIB 镓粒子注入引起的基体材料性质变化。
3. 高分辨率成像
借助 0.5 纳米成像分辨率，它可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像。与使用场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）成像相比，其可获得 5 至 10 倍的景深并和更丰富的图像细节。
（二）、纳米加工
Orion NanoFab 拥有纳米加工和成像引擎 - 配有集成软、硬件的控制系统。纳米图形发生器（NPVE）为每个 NanoFab 镜筒提供了一台 16 位扫描图形发生器，以及支持实时图案加工和成像的双信号采集硬件。通过图形化用户界面（GUI）控制离子束：可创建一系列可编辑的形状，如矩形、梯形、多边线、直线、折线、椭圆及点。然后，对这些形状进行矢量切割，并通过剂量和加工参数的调节进行的过程控制。
