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CIF-TEM TEM透射电镜样品杆等离子清洗机

型号
CIF-TEM
参数
产地类别:国产 应用领域:能源,电子,航天,电气,综合
广州金程科学仪器有限公司

中级会员2年 

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详细信息

广州金程科学仪器公司供应的TEM透射电镜样品杆等离子清洗机CIF-TEM采用远程离子清洗源设计,清洗快速高效,低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于 TEM 透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。

 

仪器特点

远程离子清洗源

一机多用

清洗快速高效,低轰击损伤

透射电镜样品杆清洗机CIF-TEM.png

 

技术参数:

产品型号

CIF-TEM

等离子电源

13.56MHz等离子射频电源,射频功率5-150W可调

远程等离子源,自动匹配器

清洗室

清洗室尺寸0180xH100mm

清洗数量

可同时清洗3支TEM样品杆

适配品牌

美国THERMO FISHER(FEI)、日本日立(HITACHI)、日本电子(JEOL)

气体控制

标配单路质量流量计(MFC)可选双路。0-500sccm/分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

皮拉尼真空计,测量范围1.0E-5Pa~1E+5Pa

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

 

 

 

真空泵

前级泵

抽气速率2.5 m³/h

分子泵

极限真空:LF<8*10⁶Pa,CF<8*10'Pa

分子泵抽速85L/s(N₂)

入口法兰:DN63 ISO-K(LF)/CF

质量保证

二年质保,终身维护

 

AC220V、50/60Hz,300W

产品尺寸

L565xW505xH560mm

包装尺寸

L715xW655xH820mm

整机重量

68kc

 

 

TEM透射电镜样品杆等离子清洗机CIF-TEM信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供

 


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产品参数

产地类别 国产
应用领域 能源,电子,航天,电气,综合
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