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起订量：
CIF-SEM 扫描电镜等离子清洗机清洗碳氢化合物
- 型号
- CIF-SEM
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详细信息
广州金程科学仪器公司供应的扫描电镜(SEM)等离子清洗机CIF-SEM采用远程等离子清洗源设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，主要用于SEM 或FIB等腔体内碳氢化合物的清洗。与电镜配套使用，扫描电镜等离子清洗机清洗碳氢化合物。
仪器特点：
远程离子清洗源
清洗快速、高效
低轰击损伤
技术参数：
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40(CF40) |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源，射频功率5-150W可调 |
远程等离子源，自动匹配器 | |
气体控制 | 标配单路质量流量计(MFC)可选双路。0-500sccm,自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源/功率 | AC220V,50/60Hz,300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器，氢气纯度>99.999%,输出流量O-500SCCM |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
产品尺寸 | L320xW385xH465mm |
包装尺寸 | L440xW535xH725mm |
整机重量 | 25kg |
扫描电镜等离子清洗机CIF-SEM信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。扫描电镜等离子清洗机清洗碳氢化合物
