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Carrier.HS100.z.C 压电扫描台,高负载通孔型,Z方向
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生产厂家多场低温科技(北京)有限公司于2017年正式运营,在2021年团队整体迁入怀柔科学城产业园;并且公司在2020年获得高新技术企业资质,2023年获得北京市专精特新企业认证。
公司致力于全环境压电超精密运动控制技术以及产品的开发与推广。得益于公司在全环境领域(包括强磁场、超高真空和极低温环境)长期的探索与积累,多场科技已形成了全环境纳米运动控制产品集群,成为国际上为数不多的,可以提供全环境下的纳米级运动控制解决方案的团队。
在此基础上,多场科技积极推动技术延伸,迅速发展出高水平的全环境超精密压电运动控制以及综合物性表征手段,形成了模块化的全品类超精密运动控制以及涵盖力热声光电全方面的物性表征系列产品,并推出了融合多场技术的综合物性表征平台等整体化解决方案。公司产品已服务于国内外百余所高校及研究机构,并受到一致认可。
公司坚持自主创新、稳扎稳打、广泛开展合作、积极拓展业务范围,面向半导体、精密光学、精密仪器、航空航天、工业自动化等领域,着力打造超精密运动领域一体化集成式解决方案,帮助客户更高效的推动技术发展,在国内工业升级、芯片自主化、航天国产化等大趋势下,为相关行业和领域突破“卡脖子”问题提供了强力的技术支撑。
扫描运动·高负载通孔型 Carrier.HS100.z.C
➡ 高负载·高速Z方向运动,大通孔设计,并联设计+电容闭环传感
• Z扫描运动 100 um,高准直设计;
• 外形尺寸· 150 mm × 150 mm × 150 mm
• 闭环分辨率优于 1 nm;
• 最大负载 5 kg;
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案;
• ⽀持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级;
压电扫描台,高负载通孔型,Z方向——详细参数:
压电扫描台,高负载通孔型,Z方向——尺寸图:
多场科技“压电扫描台·通孔型”解决方案包括Carrier.S 系列(标准型)和Carrier.SH 系列(重载型)。Carrier.S & HS系列主要针对精密光学,半导体表征等应用场景,覆盖载物台“大行程·高精度·重负载”等需求,核心特点包括:
• 运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动
• X,Z,XY,XYZ & ZTT等运动形式全面支持
• 线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)
• 支持电容(.C) 位置传感
• 最高分辨率达到0.2 nm
• 超快运动响应 & 长时间疲劳测试
• 支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级