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YUSHITECH MF3000系列气体质量流量计
- 型号
- YUSHITECH
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杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
MF3000系列气体质量流量计
产品简介：
MF3000系列气体质量流量计直接测量气体质量流量。该流量计工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0～2）SLPM到（0～1500）SLPM。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。
产品特点：
l 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿
l 在单个芯片上实现了多传感器集成，量程比高
l 全量程高精确度和优良的重复性
l 响应速度快
l 可选择LED显示瞬时流量与累积总量和按键功能
l 多种输出方式
l 多种连接方式
产品尺寸图：
技术参数：
参数 | MF3000 | 单位 | ||||
最大流量（空气，氮气，氧气，氩气） | 2,5,10,20,50 | 100,200 | 500,1000,1500 | SLPM | ||
最大流量（二氧化碳） | 2,5,10,20 | 50,100 | 200,500,800 | SLPM | ||
量程比 | 30:1 | |||||
精度2 | ±(2.5+0.5FS) | % | ||||
重复性 | 0.8+0.15FS | % | ||||
零点输出漂移 | ±30 | mV | ||||
输出漂移 | ±0.12 | %/°℃ | ||||
响应时间 | 10 | ms | ||||
工作电源 | 8~24VDC,50mA | |||||
信号输出1（数字信号） | RS485/PC | |||||
信号输出2／3 | 模拟电流4～20mA／模拟电压1～5VDC／NPN／PNP | |||||
工作压力（表压） | 0.05~0.8 | MPa | ||||
工作温度 | -10~+55 | ℃ | ||||
储存温度 | -20~+65 | ℃ | ||||
工作湿度 | ＜95％RH（无结冰、无凝露） | |||||
机械接口 |
BSPT1／4外螺纹、 BSPT1／4外螺纹、4／6／8mm快速接头 8mm快速接头 BSPT1／2内螺纹或8mmL型接头 或8mmL型接头 | |||||
标准校准气体 | 空气（20℃，101.325kPa） | |||||
符合性 | RoHS,REACH | |||||
1以上参数在为20℃，101.325kPa下测得；
2，为了确保流量计的测量精度，使用前需要预热一分钟，传感器默认为空气校准，测量其他气体时候，精度会有所下降；
产品选型：
型号 | 最大流量（空气） | 机械接口 |
MF3000 | 2,5,10,20,50SLPM | R-BSPT1／4外螺纹（R1／4螺纹）；O4／O6／O8-4／6／8mm快速接头；L8-8mmL型接头 |
100,200SLPM | R-BSPT1／4外螺纹（R1／4螺纹）；08-8mm快速接头；L8-8mmL型接头 | |
500,1000,1500SLPM | R-BSPT 1／2内螺纹（Rc 1／2螺纹） |
3，最大流量的单位为SLPM，比如200代表最大流量为200SLPM，
