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YUSHITECH E-P100气体质量流量控制器
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杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
YUSHITECH E-P100气体质量流量控制器
经济型数字质量流量控制器
该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片、高级电磁比例阀、316L不锈钢气路底座，结合高速数字处理电路以及温度补偿算法，可实现最小0.2sc cm 、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。该产品可以用于配气仪、分析仪、真空镀膜、焊接等应用场景。
MEMS流量传感器芯片工作原理
基于科学家托马斯提出的“气体的吸热量或放热量与其质量流量成正比”理论发展而来 。无气流时， 以Heater为中心的温度场对称分布；有气流时，温度场分布发生偏移，导致上下游出现温差，通过测量该温差，即可推算出流过芯片表面的气体质量流量。
YUSHITECH E-P100气体质量流量控制器
产品规格
基本参数 | |
介质要求 | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
介质种类 | 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等 |
量 程1 （氮气等效） | （0～20,50,100,200,500）sccm （0～1,2,5，10,20）slm |
精度 | 0.8%F.S.2 或 1.0%S.P. 3 取更大者 |
量程比 | 100:1 |
响应时间4 | ≤ 1s |
重复精度 | ≤±0.2%F.S. |
分辨率 | 0.01sccm，≤100sccm 0.1sccm，≤1slm且>100sccm 1sccm，≤5slm且>1slm 0.01slm，>5slm |
漏率 | ≤1×10-9 Pa m3/s He |
最大耐压 | 9.8bar |
环境条件 | |
工作温度 | 0～50℃ |
工作湿度 | 10%～90%R.H. (无结冰、无凝霜) |
工作压力5 | 0.5-4bar，>2slm 0.5-6bar,≤2slm （具体量程相关） |
储存温度 | -20～85℃ |
电气参数 | |
供电电压 | DC24V，纹波≤50mv |
功耗 | ≤2.7W |
启动时间 | ≤1s |
通信接口 | |
接口类型 | D-SUB9 |
模拟控制 | 0～5V |
数字控制 | RS485或RS232 |
数字信号（RS485/RS232） | |
接口类型 | D-SUB9 |
通信速率 | 9600（默认），14400，19200，38400，56000，57600，115200 （可通过指令或上位机修改） |
协议 | Modbus-RTU |
设备地址 | 1（默认）～250 （可通过指令或上位机修改） |
机械参数 | |
接头类型 | 卡套：8mm、1/4inch、1/8inch 其它可选 |
气体接触材质 | 316L不锈钢、氟橡胶、二氧化硅 |
主体材质 | 底座：316L不锈钢 外壳：铝合金 |
密封材质 | FKM氟橡胶 |
重量 | 0.90kg |
备注
* 除非另有说明，本产品标定于以下条件：氮气、25 ℃、2.5bar差压 (进气口3.5barA，出气口 1barA)、水平放置。
* 建议在入口端安装尺寸合适的直管段，否则可能会引起精度产生偏差。
* 建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头，以避免导致额外的压损。
1 所示量程为氮气可选量程。
2 %F.S.指误差占满量程的百分比。
3 %S.P.指误差占设定值的百分比。
4 响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。
5 工作压力指进气口与出气口之间的差压。
