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起订量：
SL-1023 化学机械磨抛机
- 型号
- SL-1023
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
一、产品概述：
SL-1023化学机械磨抛机，适用于 CMP 平坦化和平滑化工艺技术， 整机研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀，配置自动滴料器和精密磨抛控制仪，全自动触摸屏面板，从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
二、设备特点：
·超平不锈钢抛光盘（平面度为每 25mm×25mm 小于 0.0025mm）。
·超精旋转轴（托盘端跳小于 0.01mm）。 ·设有两个加工工位，可分别进行控制。
·配有全自动控制触摸屏面板，可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。 ·配置自动滴料器，流量速率可视化调整， 自动研磨和抛光。
·配置 GPC-100A 精密磨抛控制仪，可调节压力，修整面型，使磨抛更加方便快捷。 ·研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀。
三、主要技术指标：
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下，温度 25℃±15℃ , 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：设备配有上水口及下水口，需自行连接自来水及下排水 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：无 4、工作台：尺寸 800mm×600mm×700mm，承重 200kg 以上 5、通风装置：不需要 | ||
主要参数 | 主机部分 | GPC-100A 精密磨抛控制仪 | 自动滴料器 |
1、电源:220V 2、功率:450W 3、磨抛盘转速:10-240rpm 4、磨抛工位:2 个 5、摆臂调节档位:1-15 档 6、托盘端跳:0.008/250mm 7、不锈钢磨抛盘: φ300mm 8、载样盘 : φ 105mm 9、修盘环 : φ 127.5mm
| 1、载样盘直径：Ø103mm 2、载样盘轴向行程：12mm 3、数显表精度：0.001mm 4、载样盘可调加载压力： 0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程： 1g-5000g 6、样品装卡方式：真空吸附 7、承载样件尺寸： 直径≤103mm、厚度≤12mm 8、尺寸：外径 146mm，高 266mm
| SKZD-2 滚筒滴料器 1、容积：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm； 重量：3kg SKZD-4 自动滴料器 1、加液泵：4 个 2、料液瓶：600ml/瓶 3、计时范围：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm； 重量：10kg
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产品规格： ·尺寸：550mm×700mm×420mm ·重量：74Kg
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