可以在一次测量中测量每个电镀时间(膜厚)的应力。还可以测量在已经镀覆的膜上再次进行镀覆时的应力。可以测量传统应力计无法检测到的微小应力。将专用应力计板插入精密电镀电源YPP系列的插槽中。
特征
● 符合JIS H8626标准。
● 甚至可以测量微弱的压力。适用于测量薄膜、晶圆等弱产品。(可准确测量0.5μm以上的膜厚)
● 可测量其他方法无法测量的初始应力。
● 适用于精细零件。
● 传感器获得的数据立即输入连接电源的PC,PC自动计算应力值,无需任何计算。此外,使用计算机实时显示和累积测量的数据。
输入电压 | AC100~200V±10%(50/60Hz±5%) |
输出电压/输出电流 | DC0~15V/0~10A |
最小分辨率 | 1mA/10mV/0.1mC |
温控功能 | 1KW(ON/OFF控制/PID控制) |
体重 | 8.8公斤 |
兼容操作系统 | 兼容Windows8,10 |