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UNECS-3000A ULVAC爱发科 精品 手动 高速光谱 椭偏仪
- 型号
- UNECS-3000A
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会社概要 社名：京都玉崎株式会社 代表取缔：高崎 惠美 注册资本：1000万（JPY） 从业人员：60人（截止2022年） 海外支社：香港、深圳、苏州、重庆、北京、成都、江 西、湖南 京都玉崎株式会社创立于平成15年（公元2003年），位于日本大阪市，是一家日本综合贸易商社。随着我国的 汽车行业、半导体行业和新能源行业井喷式的增长，对各类仪器要求也越来越高，逐步趋向高度复杂化。 深圳市京都玉崎电子有限公司是京都玉崎株式会社全资设立的中国子公司，专业从事国内贸易/国际贸易业务， 主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、 电源、化学用品、FA自动化上万种产品的销售。公司凭借渠道管理能力, 可控的交期和匹配的物流 体系, 科学严谨的产品质量, 专业的线下服务能力,为客户提供极有竞争力的价格以及技术支持。
详细信息
ULVAC爱发科 精品 手动 高速光谱 椭偏仪
ULVAC爱发科 精品 手动 高速光谱 椭偏仪
可以进行映射测量的自动台型
UNECS系列是一种分光椭偏仪，可以高速、高精度地测量薄膜的厚度和折射率。采用测量方法，实现高速测量和紧凑化。我们提供广泛的产品阵容，以适应不同的应用，包括便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。
UNECS-1500A/2000A/3000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量基材表面内的膜厚分布，并将结果显示在彩色图上。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量
特征
高速测量：
采用快照方式，实现了最高速度20ms的高速测量。
兼容可见光谱：
波长范围可选择标准型（530nm~750nm）和可见光谱型（380nm~760nm）。
紧凑的传感器单元：
光发射/接收传感器仅由光学元件组成，没有旋转机构，并且非常轻便和紧凑，并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容：
我们拥有可适应各种应用的产品阵容，包括便携式类型、手动/自动平台类型、大型基板类型以及与大气/真空环境兼容的内置类型。
规格
| 模型 | 1500A | 2000A | 3000A | |
| 波长范围 | 530~750nm、380~760nm（任选其一） | |||
| 光斑直径 | φ1mm、φ0.3mm（任选其一） | |||
| 入射角度 | 70º固定 | |||
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1nm | |||
| 膜厚范围 | 1nm〜2μｍ | |||
| 测量时间 | 受光：20ms 〜 3000ms 演算：300ms | |||
| 阶段 | φ150mm自动 | φ200mm自动 | φ300mm自动 | |
| 自动测量 | 200点 | 200点 | 2,000点 | |
| 控制电脑 | 笔记本型（带操作/分析软件） | |||
| 机器构成 | 测量单元、控制器、操作电脑（笔记本型）、使用说明书（CD） | |||
