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Electro-Damp II TMC主动空气消振器

型号
Electro-Damp II
参数
产地类别:进口 价格区间:面议 应用领域:医疗卫生,生物产业,电子,航天,综合
努美(北京)科技有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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大面积太阳模拟器,高功率太阳光模拟器,聚光太阳光模拟器,高度准直太阳模拟器,LED太阳光模拟器,高速照明系统,老化光源,能量密度光源

 

 

 

 

自2013年以来,努美(北京)科技有限公司一直在研发和制造光源仪器,我们的光源被各领域的科研人员和专业工程师使用,为了解决更前沿的应用,使用者需要更为精确的光源,这正是我们的创造的动力和方向。

凭借光学、电子工程、机械工程团队,我们创造了国产更为真实的太阳光。这意味着您在使用太阳光模拟器过程中都能获得准确的结果。为了让仪器变得更简单高效,我们选择更好的材料和技术与研究人员不断变化的需求相结合。

产品主要涵盖:太阳光模拟器、大面积太阳光模拟、能流密度太阳能光热模拟、LED太阳光模拟器、阳光模拟、高速照明系统、氙灯光源、均匀光源、BRDF/BTDF透反射率测试系、定制太阳光模拟器等产品。

产品已经广泛使用在大学、科研机构、国家重点实验室和企业中。产品满足了各类应用的需求,同时我们也拥有专业技术和售后团队,努力为客户提供从可行性研究到项目具体实施的支持,为客户提供可靠且具有针对性的产品及售前售后服务。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

TMC主动空气消振Electro-Damp II

Electro-Damp®是第一款专门用于提高半导体制造应用中的吞吐量、分辨率和产量的商用主动隔振系统。Electro-Damp II是对原始系统的*全重新设计,增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙执行器以及多个专门设计用于OEM应用(如显微光刻、检测和计量工具)的数字用户界面。


半导体制造工具对其隔振系统提出了相互矛盾的要求。为了应对地面噪音,系统必须足够柔软,以有效地过滤地面振动,阻止其到达隔振表面。同时,系统必须足够坚硬,以应对工作台的力,以便工作台运动使隔振表面产生最小位移并能快速稳定。

TMC主动空气消振器

除了采用惯性、主动反馈阻尼之外,Electro-Damp II还使用信息前馈来进一步改善系统响应。前馈从工作台控制器获取关于工作台位置和加速度的信息,然后处理这些数据,以向有效载荷提供力驱动,从而大大减少了由工作台引起的有效载荷运动。系统可以以数字方式读取前馈信息,作为双极性模拟信号,或通过读取正交编码器的输出。DC-2000数字控制器还可以使用工作台测试模式自动调整前馈所需的参数。这使得在初始安装时或在更改有效载荷之后能够快速简便地进行设置。

Electro-Damp II的模块化设计允许系统单独与电子伺服阀一起使用(适用于重型、低加速度应用,如CMM)、只与电磁驱动一起使用(适用于使用高加速度的较轻工作台)或与两者结合使用(适用于*苛刻的应用)。

TMC主动空气消振Electro-Damp II特点

●六自由度主动减振系统

●非接触式电子高度控制

●数字控制器

●前馈输入校正由工作台引起的有效载荷运动

●高力电磁执行器可单独提供或被集成在系统中

●减少有效载荷运动和由工作台引起的运动的稳定时间

●提高吞吐量、分辨率和产量

●模块化设计允许用户*定一个完整的单元或组件,以便OEM集成

●自动调整前馈参数以减少设置

规格

通用

稳定时间

0.2秒**

主动自由度

6

高度控制精度

< 10 µm at sensorsd>

线性执行器(水平和垂直)

直流电阻

5 Ω

力常数

高达12磅/安 | 55牛/安

最大连续力

25磅| 110牛

峰值力@ 7 A

87磅| 385牛

电气时间常数

2.6毫秒

行程

0.25英寸 | 6.4毫米

横向间隙

0.09英寸 | 2.3毫米

杂散场

< 1 G @ 2 in.d>

尺寸(宽 x 深 x 高)

2.8 x 6.8 x 4.5英寸
71 x 173 x 114 mm

阀门(仅限主动)

阀门类型

比例E/V伺服

控制类型

压力或气流

最大流量

1.5 SCFM

耗气量(4个隔振器)

< 2 SCFM (no stage motion)d>

- 3 dB响应

≤10 Hz(典型值)。

高度控制传感器

输入

非接触式感应(涡流)

电子配置

双线式NAMUR
三线30或18毫米直径

范围

标称15毫米,用于30毫米电线
标称6毫米,用于18毫米电线

分辨率

< 1 µmd>

被动气动安装座

标准承重能力

1,000、2,500、3,300、5,700磅@ 80 PSI

阻尼(10:1)

< 3 sd>

DC-2020数字控制器

处理器

双核:
DSP @ 150 MHz & Cortex M3 @ 75 MHz

模拟I/O

32/24通道(16/16位)

采样率

标称值为5 kHz

前面板

电源开关
3色状态指示灯
以太网RJ-45
MicroSD卡插槽
2个BNC插座(每个都可以作为输入端或输出端)
2个USB 2.0端口(B型和Micro B型)
FW升级按钮

后面板

电源输入
模拟I/O插座
气动端口
以太网RJ-45
1个USB 2.0
RS-232 DB 9
继电器插座

用户界面

通过USB或以太网的GUI

电源

90-240 VAC,50-60 Hz,最大100 W

尺寸(宽 x 深 x 高)

16.8 x 9.0 x 1.75英寸
427 x 229 x 45 mm
1个标准RETMA单元

功率放大器

通道

8

每个通道的最大电流

7 A

输入

线性

峰值功率

总共700瓦

冷却

环境,强制通风

保护

可复位保险丝、电子热保护、过流、欠压

操作

遥控或手动

尺寸

1 RETMA机架单元高度 x 15英寸(381毫米)深

 


                                                                                                                                                                          

应用说明

Electro-Damp®

Precitech的Freeform L超精密机床上使用PEPS II-VX进行3轴(XYZ)测量

TMC主动空气消振器



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产品参数

产地类别 进口
价格区间 面议
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