PEPS II TMC主动空气隔振调平系统
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生产厂家
自2013年以来,努美(北京)科技有限公司一直在研发和制造光源仪器,我们的光源被各领域的科研人员和专业工程师使用,为了解决更前沿的应用,使用者需要更为精确的光源,这正是我们的创造的动力和方向。
凭借光学、电子工程、机械工程团队,我们创造了国产更为真实的太阳光。这意味着您在使用太阳光模拟器过程中都能获得准确的结果。为了让仪器变得更简单高效,我们选择更好的材料和技术与研究人员不断变化的需求相结合。
产品主要涵盖:太阳光模拟器、大面积太阳光模拟、能流密度太阳能光热模拟、LED太阳光模拟器、阳光模拟、高速照明系统、氙灯光源、均匀光源、BRDF/BTDF透反射率测试系、定制太阳光模拟器等产品。
产品已经广泛使用在大学、科研机构、国家重点实验室和企业中。产品满足了各类应用的需求,同时我们也拥有专业技术和售后团队,努力为客户提供从可行性研究到项目具体实施的支持,为客户提供可靠且具有针对性的产品及售前售后服务。
TMC主动空气隔振调平系统PEPS II
PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密电子定位系统)基础上并对其进行了改进。通过添加新的数字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,还有一个改进的用户界面。PEPS II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。这种系统通常包括机械高度阀和机械高度传感连杆。其应用包括需要改善稳定时间和提高产量的半导体制造设备以及需要最佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。
TMC主动空气隔振调平系统PEPS II特点
●数字控制,用户友好的LCD界面
●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系统的非接触式电动气动高度控制
●Z轴位置重现性:10微米
●由于消除了传统机械高度控制系统的杠杆接触点,从而改善了隔振效果
●气动前馈功能最大限度地减少了Z轴对X-Y平台运动的反应
●可以调整以快速稳定由X-Y平台引起的运动
●可选的“VX”功能集成了惯性传感器,用于主动阻尼垂直隔振器共振
●与“软坞站”兼容。允许在没有运动安装的情况下加载/卸载晶圆
●相称的电子阀门。“开关”或传统电子阀不会产生脉冲噪声
●排气管用于废气的清洁处理
●逻辑停靠控制和状态
规格
物理尺寸 | PEPS II控制器 1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)宽 x 9.4英寸(240 mm)深 | |
重量 | PEPS II控制器:约3.0磅(1.2千克) | |
环境 | 仅限室内使用,最高2,000米海拔(6560英尺) | |
电源要求 | 电源输入电压范围:90-230 VAC | |
PEPS II用户界面 | 电源开关 | |
PEPS II 界面 | 带EMI滤波器的交流电源输入 | |
PEPS II | 模拟输入(单极):8 x 12位(16位使用过采样),0 ... 3.0 V满量程 | |
气动规格 | 长期高度稳定性:±50微米 |
性能