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MS-150/200 晶元划片机
- 型号
- MS-150/200
匀胶机，光刻机，显影机，等离子清洗机，紫外臭氧清洗机，紫外固化箱，压片机，等离子去胶机，刻蚀机，加热板
半导体化工领域专业实验设备供应商：迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司，专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务，帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定，尊重他们的决定，并协助他们实现高效率的科研成果，追求丰富有意义的生活。
详细信息
特征
1.晶圆尺寸50～150/200（mm）（其他可根据要求提供）
2.真空吸盘旋转90度。
3.X/Y轴直线滑动平台。（其他可根据要求提供）
X轴的最大长度为150mm，分辨率为5um，其被显示在屏幕上。
Y轴的最大划线长度为150mm。
Z轴最大调整长度为10mm，分辨率为10um。
4.夹头的角度可以稍微调整一下。
调整角度为0.006~4度
5.划线压力可调
下行压力约为5~600g（其他可根据要求提供）
6.金刚石刀具自动下降
7.触地跌落升降机设计
8.角度金刚石工具可略微调整
调整角度为45度
具有精准的控制系统，可以精确地调整划片刀片的速度和位置，确保切割过程准确无误。划片过程需要在严格的洁净室环境中进行，以避免任何杂质对芯片质量的影响。
