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TC-20 TC-Wafer校准仪
- 型号
- TC-20
- 参数
- 应用领域:综合
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半导体化工领域专业实验设备供应商：迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司，专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务，帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定，尊重他们的决定，并协助他们实现高效率的科研成果，追求丰富有意义的生活。
详细信息
TC-Wafer校准仪，是一款专注晶圆温场均匀性测量的仪器。
适配市场上大多数主流厂家生产的RTP设备。
特殊情况可定制以适配。
产品特点（部分）
1.测温准确 温度偏差在±1.1℃以内、采集周期为200ms，能准确测量晶圆温厂均匀性；
2.使用便捷 仪器集成度高，即插即用。测试记录完整数 据，并能自动生成测试报告，
支持U盘、蓝牙、无线网 络等多种方式导出数据和报告；
3.显示直观 最多支持20路实时测量(20路以上可定制)，显示实时点位图及温度分布图，
可在使用过程中实时观察各点温度变化；
4.功能强大 10000条历史数据存储量，能以图表形式调阅历史温度和均匀性数据。
可做同一台设备不同时间段、以及不同设备同一配方的数据对比；
5.便携易维护 便携一体化设计，配备磁吸支架可贴靠于RTP表面， Type-C接口
65W速充，可迅速更换TC- wafer。
TC-Wafer校准仪应用功能：
1.半导体制造工艺调校
2.RTP设备的测试、验证
3.TC-Wafer的测试、验证
4.相 关 晶 圆 热 处 理 设 备 的 测 试 、 验 证 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;
5.使用范围：室温~ 1200℃(更高温可定制)
