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Bronkhorst FF-M1x紧凑型气体质量流量计
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杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
Bronkhorst FF-M1x紧凑型气体质量流量计（布琅轲锶特FLEXI-FLOW）
小流量气体质量流量计
FLEXI-FLOW Compact FF-M10 和 FF-M11紧凑型气体质量流量计适用于工作压力在真空和17 bar(a)条件下准确测量0…500 mln/min 和 0…20 ln/min之间的流量。仪表结合基于毛细管MEMS技术快速稳定的热式质量流量传感器和可靠准确的旁路结构。基于TCS技术，建立准确的质量流量测量，不受温度和管路压力变化影响。与集成温度和上下游压力传感器相结合，22种气体的嵌入式数据库实现精准集成转换。多参数仪表可提供过程信息：
l FF-M10：流量+温度
l FF-M11：流量+温度+上下游压力
紧凑型气体质量流量计
l 集成气体转换模块
l 22种气体嵌入
l 多参数输出：质量流量、温度和压力
l USB-C和蓝牙通信
l Namur NE107状态指示
Bronkhorst FF-M1x紧凑型气体质量流量计（布琅轲锶特FLEXI-FLOW）
技术参数
测量/控制系统 | |
流量范围（可提供中间范围） | 最小 0…500 mln/min 最大 0…20 ln/min (基于 N2) |
压力范围 | FF-M10：不可用 / FF-M11：0…17 bar(a) |
准确度（包括线性）（基于实际校准） | 高达 ±0.5% Rd 加 ±0.1% FS (N2/空气/O2)；对于其他气体，增加转换不确定度 |
重复性 | 流量传感器：< ±0.2% Rd；压力传感器：< ±0.2% FS |
调节比 | 最高可达 1:1000 |
最大工作压力 | 16 bar g |
多气体/多炉灶 | 嵌入 22 种特别气体以及这些气体的任意混合物的气体数据 |
响应时间（传感器） | < 30 ms (T63) |
长期稳定性 | 3 年内小于 0.5% FS；之后每年小于 0.2% FS |
安装 | 任何位置，姿态敏感度可忽略不计 |
温度敏感性 | 流量传感器：零点 0.0015% FS/ºC；跨度 0.03% Rd/ºC；压力传感器：零点 0.16 mbar/ºC；跨度 0.05% Rd/ºC |
温度精度 | ±0.2℃（仪器本体温度） |
精密压力传感器 | ±0.5% 满量程 |
压力敏感度 | 标准：< 0.15% Rd/bar 典型 N2；带压力校正：< 0.02% Rd 典型 N2 |
舷外泄漏完整性 | 测试 < 2 x 10-9 mbar l/s He |
机械零件 | |
材质（接触液体的部件） | 铝、不锈钢、氮化硅、环氧树脂、氧化铝、玻璃 |
表面质量 | < 1.6 mu Ra（不锈钢机身< 0.8 mu Ra） |
压力等级（PN） | 16 bar(g) / 250 psig |
过程连接 | 可选：压缩型、推入式或面密封联轴器 |
密封件 | 默认：FKM 51415；如需其他材料，请联系客服 |
重量 | 铝制机身为 200 克，SS 316 机身为 300 克 |
防护等级 | IP40 |
仪器本体 | 铝或不锈钢（可选） |
电气性能 | |
电源 | 24 Vdc ± 10% |
最大功耗 | 0.35 瓦 |
数字通信 | Modbus RTU 或 FLOW-BUS（可选） |
支持接口 | USB-C 端口，方便设置；可选蓝牙连接，用于监控 |
电气连接 | 9 针 D-sub（公头） |
电气连接 | |
CE | EMC 2014/30/EU、RED 2014/53/EU、RoHS 2011/65/EU |
技术参数如有 变更，恕不另行通知。
