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F201CM,F111CM Bronkhorst EL-FLOW金属密封气体质量流量计
- 型号
- F201CM,F111CM
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杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
Bronkhorst EL-FLOW金属密封气体质量流量计和控制器
高纯度气体应用
Bronkhorst金属密封气体质量流量计和控制器为全金属密封结构，具有高性能、高质量的特点，适合半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量计和控制器的表体使用的是 1/4″ VCR 连接。
l 最小流量范围：0.12…6 mln/min
l 最大流量范围： 1… 50 ln/min
EL-FLOW® 产品具有多气体/多范围功能，为客户（OEM）提供可选的灵活性以及高效率工艺。为方便客户使用，Bronkhorst提供免费且便于操作的配置软件。
特点
l 高准确度 (标准 0.5% Rd + 0.1% FS)
l 可进行重复密封的全金属外部密封结构（无密封圈）
l 电抛光过流部件
l 无尘组装
l 多介质/多范围可调节功能
l 模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接：
l DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS
l 无零飘（不需要零点自动调整电路）
l 高精度、重复性高
Bronkhorst EL-FLOW金属密封气体质量流量计和控制器
EL-FLOW金属密封 F-111CM
金属密封气体质量流量计
l 金属密封结构
l 电抛光接液部件
l 洁净室组装
l 高精度，高重复性
l 多气体/多量程功能（可选）
金属密封气体质量流量计
Bronkhorst® F-111CM质量流量计为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用而设计。仪表表面光洁度高，采用模块化结构，金属密封，长期密封性好。F-111CM适用于在真空到1500 psig (100 bar)条件下准确测量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N2)之间的流量。
EL-FLOW® 金属密封系列配备数字PC板，提供高精度、高稳定性和快速响应。数字PC板包含测量和控制所需的通用功能。除了标准RS232输出外，仪表还提供模拟I/O信号。可选安装接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT®、PROFINET 或 FLOW-BUS 协议。EL-FLOW® 金属密封系列设计具有可选的多气体/多量程功能，为OEM客户提供优化的灵活性和工艺效率。
EL-FLOW 金属密封 F-201CM
金属密封气体质量流量控制器
l 金属密封结构
l 电抛光接液部件
l 洁净室组装
l 高精度，高重复性
l 多气体/多量程功能（可选）
l 快速稳定时间 (低至 600 msec)
金属密封气体质量流量控制器
Bronkhorst® F-201CM质量流量控制器为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用而设计。仪表表面光洁度高，采用模块化结构，金属密封，长期密封性好。F-201CM适用于在真空到1000 psig (64 bar) 条件下准确测量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N2)之间的流量。
EL-FLOW® 金属密封系列配备数字PC板，提供高精度、高稳定性和快速响应。数字PC板包含测量和控制所需的通用功能。除了标准RS232输出外，仪表还提供模拟I/O信号。可选安装接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT®、PROFINET 或 FLOW-BUS 协议。EL-FLOW® 金属密封系列设计具有可选的多气体/多量程功能，为OEM客户提供优化的灵活性和工艺效率。
金属密封气体质量流量控制器参数：
金属密封气体质量流量计、流量控制器尺寸图：
金属密封气体质量流量计、流量控制器选型表： 
