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OYS-1200C-Ⅲ PECVD系统炉
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生产厂家合肥新元素科技装备有限公司位于有“科教之城”美誉的安徽合肥,致力于高校研究院所各类理化实验察设备仪器的供应,尤其专注于高温加热设备的研发、生产销售及配套产品的供应和技术咨询服务,是一家新生代的科技生产单位,竭力为实现“中国科技创新世界”的强国梦贡献一份力量!
公司目前经营项目
1.专业设计、研发、生产和销售一系列理化实验室制备。尤其是高温加热类设备如箱式炉管式炉、翻盖炉、气氛炉CVD系统,PECVD系统、混料机、压料机、球机以及相关辅材耗材等;
2.公司也承接实验室各类加热项目建设的咨询服务,各种加热设备的技术咨询和维护服务;
3.各加热类外协实验项目:
4.为各大高校和科研院所的师生实习实训和科学研究提供实习岗位和基地实验室。
世界万物皆由“元素”组成,我们都是“微小”的一份子,“微元素”的初衷----与更多志同道合的“微元素”一起,打造“倾心服务”国人的“名族品牌”,为更多的科研工作者提供质优价廉的产品和服务,为实现“科技强国”做出“力所能及”的贡献!
CVD系统(高真空)PECVD系统炉
OYS-1200C-Ⅲ+GYS-3Z+OYS-300F+(真空连接配件)
OYS-1200C-Ⅲ——翻盖炉
一款三温区开启式管式炉,其最高温度可以达到1200℃(1200℃<1H)。炉管为高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可以在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。CVD系统(高真空)PECVD系统炉对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度±1℃。
技术资料
产品型号 | 翻盖炉 OYS-1200C-Ⅲ(φ50、φ60、φ80、φ100、φ130) |
主要产品参数 | 电源:220V 50/60Hz 额定功率:7.1 KW 最高工作温度:1200℃(<0.5 h) 连续工作温度:1100 ℃ 推荐升温速率:≤10℃/min 加热区长度:加热区长度:900mm(三个温区段都为300mm) 热电偶:K型 外形尺寸:1675mm*645mm*865mm |
炉体结构&温控 | 炉体结构&温控:采用双层壳体结构,并带有风冷系统;炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维作为材料,减少能量损失;内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高反射率及设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命;三个温区分别有三个独立的温控系统控制;包含一款YD858型温度控制器;PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能;控温精度±1℃;默认DB9PC通信连接端口;可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据 |
加热元件 | 铁铬铝合金丝0Cr21Al6Nb |
炉管尺寸 | 石英管口径可选φ50、φ60、φ80、φ100、φ130 |
真空密封 | 标配:一对不锈钢密真空法兰和高温硅胶密封圈 选配:为了更快的获得较高的真空度,建议使用KF25的不锈钢法兰、不锈钢波纹管和数字式真空显示计 |
法兰接口 | 为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接;多种接头可选,具体请咨询我公司销售经理 |
真空度 | 采用双旋片式机械真空泵真空度可以达到10-2torr;如您想获得更高的真空度(<10-5torr or better)可选国产或进口高真空机组 |
可选 | 本公司还可以提供防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8*105至1125torr,不需因测量气体种类不同而需要转换系数 |
认证标准及核心零部件 | CE、UL等认证,核心零部件有ABB、欧米茄、东明等采用ABB电器元件 |
售后 | 质保期一年,终身维护;24小时在线服务 |
注意事项 | 炉管内气压不得高于0.02MPA;由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等);气体的流量应限制在<200 SCCM(或200ml/ min) |
免责声明 | 本产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等) 仅供参考。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺,我司会不定期完善产品,恕不另行通知,请您见谅 |
质子供气系统GYS-3Z参数表是一款低成本的流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜最大可以承重1000Lbs,与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上上以节约空间。各通道气路的流量设定和状本示都集中在一个7寸的LCD触摸屏上,便于操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛应用于材料接种CVD实验和各种材料的退火实验。
一、OYS-300F风冷分子泵机组参数表产品简介
此机组为风冷机组无需冷却,本机组极限真空5*10-5Pa ,充分考虑到实验室及一些研究院所的使用条件,大大方便了客户的使用范围,本产品为一键启动模式,大大降低了对使用者的专业要求。JTFB-300F分子泵为抗冲击型。
二、技术资料
产品型号 | GYS-3Z |
产品参数 | 电源:220V 50/60HZ 额定功率:23 W 流量计范围:1-100SCCM;1-200SCCM;1-500SCCM 有一机械压力表安装在前面板上,与混气管相连接 压力表量程:-0.1~0.15MPa 混气罐尺寸: φ80*120mm |
气口/阀门 | 内部连接管道为Ø6.35 |
产品尺寸 | 外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm |
重量 | 约30KG |
产品特点 | 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便 采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸 |
产地类别 | 国产 |
加热方式 | 铁铬铝合金丝 |
价格区间 | 面议 |
控温精度 | ±1℃ |
升温速度(达到最高温) | ≤5/min |
仪器种类 | 管式炉 |
应用领域 | 医疗卫生,地矿,冶金,航天,综合 |
最大功率 | 7.1kW |
最高温度 | 1200℃ |
长期使用温度 | 1100℃ |
可选管径 | φ50、φ60、φ80、φ100、φ130 |