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EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪
中级会员第6年
代理商杭州雷迈科技有限公司(Labmates Technology)成立于2010年,公司致力于实验室*科学仪器和工业专用设备的研发、销售和技术服务,产品应用于新材料、电子、半导体、化工、光伏、玻璃等众多行业及高等院校和科研机构。
公司主营产品包括铁电材料测试仪、宽频介电阻抗谱仪、薄膜压电测试仪、3D轮廓仪、显微CT、光谱分析仪、X射线衍射仪和分光光度仪等分析测试仪器和设备。我们关注科技发展趋势和动态,与时俱进引进新兴功能性材料的分析和表征整体解决方案,已与众多高校及科研院所建立起技术交流和合作关系,以专业应用技术为优势,以产品整体解决方案为己长,为用户提供可靠的产品和有效的服务。
经过团队每一个成员的持续努力和奋斗,公司不断拓展业务范围和知识的边界,稳步发展。专业的销售和技术服务工程师,结合*的产品和诚实守信的经营理念,赢得广大客户的认可。特别在不断涌现的新材料和技术方面,我们紧跟步伐,不断开拓,竭诚为广大客户提供优质的产品和服务!
我们的愿景是通过提供以科学为基础的高品质、新技术的产品和服务,成为*实验室的专业合作伙伴,此正是我们的英文名称“Labmates”之寓意。我们真诚感谢客户的支持,期待分享一个成功的未来。
EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻,最大可达300×300平方毫米(12×12英寸)。在手动样品定位时,该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 10,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。
EddyCus® map 2530RM电阻率测试仪产品介绍:
EddyCus® map 2530系列在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻,最大可达300×300平方毫米(12×12英寸)。在手动样品定位时,该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 10,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。
产品特点:
· 非接触式
· 快速、高重复度测量
· 高分辨率成像
· 最大 300 x 300 mm(12")的样品成像测量
· 封装的导电层的表征
· 软件集成分析功能,例如电阻均一性分布、线扫描、单点分析
· 测量数据保存和导出功能
· 缺陷识别、分析
产品优势:
· 非接触式成像
· 高速 (5 分钟测量10,000个检测点)
· 重复性和精确性
· 高分辨率 (9 – 90,000个检测点)
· 封装后的膜层成像
· 均匀性和缺陷成像
产品参数
测量技术 | 非接触式涡流传感器 | ||||
基材 | 晶圆(锭)、玻璃、箔等 | ||||
最大限度。扫描区域 | 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米(根据要求更大) | ||||
边缘效应校正/排除 | 2 – 10 毫米(取决于尺寸、范围、设置和要求) | ||||
最大限度。样品厚度/传感器间隙 | 3 / 5 / 10 / 15 毫米(由最厚的样品定义) | ||||
金属薄膜(如铝、铜)的厚度测量 | 2 nm – 2 mm (根据薄层电阻) | ||||
扫描间距 | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米(其他应要求提供) | ||||
每次测量点数(方形样品) | 0.5 分钟 100 个测量点 3 分钟 10,000 个测量点 | ||||
扫描时间 | 8 英寸/200 毫米 x 200 毫米,1 至 10 分钟(1 – 10 毫米间距) 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米,2 至 6 分钟(2.5 – 25 毫米间距) | ||||
设备尺寸 (w/h/d) | 31.5” x 19.1” x 33.5” / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米 | ||||
重量 | 90公斤 | ||||
更多可用功能 | 金属厚度成像、各向异性和薄层电阻传感器 | ||||
VLSR | LSR | MSR | HSR | VHSR | |
范围 [欧姆/平方] | 0.0001–0.1 | 0.1–10 | 0.1–100 | 10–2000 | 1,000–200,000 |
精度/偏差 | ± 1% | ± 1–3% | ± 3 – 5% | ||
重复性 (2σ) | < 0.5% | < 1% | < 0.5% |
软件和设备操控:
· 人性化的软件
· 实时测绘测量
· 易于使用的统计分析选项
· 预定义的测量和产品配方(尺寸、间距、阈值)
· CSV 和 pdf 导出
· 3 用户级别
· 用于参数转换的材料数据库
· 边缘效应补偿
· 数据的存储和导入
· 数据集的导出(例如到 EddyEva、MS Excel、Origin)