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YLJ-VHP5-4/YLJ-VHP5-12 美国MTI真空层压热压机晶圆粘合薄膜转换等
- 型号
- YLJ-VHP5-4/YLJ-VHP5-12
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详细信息
美国MTI真空层压热压机晶圆粘合薄膜转换等 YLJ-VHP5-4/YLJ-VHP5-12 特点介绍
YLJ-VHP5 是一款真空热层压热压机，专为晶圆粘合、薄膜转换和 LCP 层压而设计，加热面积为 100 毫米 x 100 毫米或 300 毫米 x 300 毫米。
它的最大工作温度为 500 ºC，最大压力为 20-40 公吨。
美国MTI真空层压热压机晶圆粘合薄膜转换等 YLJ-VHP5-4/YLJ-VHP5-12 规格参数
产品编号
YLJ-VHP5-4
YLJ-VHP5-12
YLJ-VHP-16
电压和功率 AC 208 - 240 V，50/60 Hz
单相， 2,000 瓦 AC 208 - 240 V，50/60 Hz，
单相， 5,000 W AC 208-240 V，50/60 Hz，
单相，6,500 W
供暖设备面积 100x100 毫米（约 4x4 英寸） 300 x 300 毫米 (12x12") 400 x 400 毫米 (~16 x16")
最多可开启两个门板 30 毫米 40 毫米 40 毫米
腔室尺寸和容量 5 25 长 x 480 宽 x 450 高 (毫米)
~ 75 升
614 长 x 574 宽 x 514 高 (毫米)
~ 170 升
700 长 x 650 宽 x 550 高 (毫米)
~250 升
热压板最大压力
500°C 时 10 公吨
室温时 20 公吨 500°C 时 20 公吨
室温时 30 公吨 500°C 时 30 公吨
室温时 40 公吨
