美国Entegris液体流量控制器耐腐蚀高精度 Entegris 6500/6550型 特点介绍

6500型

适用于高纯度应用的 PTFE 润湿表面

耐腐蚀非金属零件

内置压力传感器提供额外的过程信息

精确至满量程的 1%，非常适合分配关键化学品

紧凑的设计可以在有限的空间内轻松安装

高精度分配流量和快速响应

6550型

采用经过验证的可靠差压流量测量技术和先进的闭环过程控制技术

使用视觉指示器诊断预防性维护、故障排除和警报状况

集成压力传感器提供详细的压力信息

使用气泡生成介质实现的测量和控制

稳健的设计确保稳定性和长期可靠性

设计用于 60、90 或 120 L/min 流量

美国Entegris液体流量控制器耐腐蚀高精度 Entegris 6500/6550 规格参数

过程温度 10-65℃ 

电源 24 伏直流 (± 10%) @ 1 安 

电力输出 两个电气隔离输出（4 至 20 mA），用于流量测量和压力测量 

流量测量 20 至 100% 流量范围内为满量程的 ± 1%

流量范围为 10 至 20% 时为满量程 ± 2.5%

（使用 23 °C 纯水校准） 

重复性 20 至 100% 流量范围时，满量程的 ± 0.5%

对于 10 至 20% 流量范围，满量程的 ± 1% 

压力测量范围 0至414kPa 

最小工作压力（入口） 69kPa 

最大工作压力 414千帕 

超压极限 690千帕 

压力测量精度 满量程的 ± 1%（包括线性度、迟滞性和重复性的综合影响） 

电气设备外壳标准 IP54 

可靠性 接液部件，超过300万次 

响应时间 3 秒内从 10% 升至 95% 全量程