美国Entegris流量控制阀耐腐蚀用高纯度应用 Entegris 6300型 特点介绍

 PTFE 接液部件具有出色的耐腐蚀性，适用于高纯度应用

C v值 0.16、0.68、1.0、2.80

两个隔膜配置提高了气密性并防止污染。

阀门驱动采用 Entegris 的先进算法设计来控制所需的阀门位置

优化的阀座和隔膜设计最大限度地减少了死体积和流体剪切力，实现从全闭到全开的可靠控制。

紧凑的设计即使在有限的空间内也能安装

接液部件由 PFA 和 PTFE 制成，也可用于高纯度应用

对应CV值5.6、10

含有耐腐蚀的非金属成分

采用耐用隔膜制成，可提供紧密密封并防止污染

优化的阀座和隔膜设计最大限度地减少死体积和流体剪切

紧凑的设计即使在有限的空间内也能安装

美国Entegris流量控制阀耐腐蚀用高纯度应用 Entegris 6300型 规格参数

材料 接液部件 主体，PFA 

隔膜，聚四氟乙烯 

非接液部件 聚丙烯、氟橡胶、PVDF 

响应时间 不到 2 秒即可从 5% 升至 95% 全量程 

压力范围* -100 至 +414 kPa 

耐压性 689.5千帕 

流体温度** 10°～65°C 

电源 24伏直流±10% 

设定点输入信号 4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC；还可提供用于阀门归位的输入信号