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GIB TEM样品制备 精修离子束系统
高级会员第10年
生产厂家复纳科学仪器(上海)有限公司(简称“复纳科技”)于 2012 年在上海成立,聚焦荷兰飞纳台式扫描电镜在中国市场的推广和应用,涵盖领域包括材料、锂电新能源、半导体、生命科学和法医检测等。
截止目前,复纳科技服务超过 2000 家飞纳电镜客户和 100 家相关产品客户,包括:清华大学、北京大学、复旦大学、上海交通大学、华南理工大学和中科院系统等高校科研单位;巴斯夫、宁德时代、微软、默克和出入境检验局等企事业单位。
2017 年开始,复纳科技陆续与 7 家行业品牌建立了长期合作,致力于为中国高校、研究所、企业和政府用户提供先进可靠、高效智能的科学分析仪器、优质专业的服务和基于核心技术的解决方案。目前已引进先进的:DENSsolutions TEM原位样品杆,飞纳台式扫描电镜,NEOSCAN台式高分辨显微 CT,ForgeNano原子层沉积、 Technoorg Linda SEM/TEM样品制备和VSParticle 纳米气溶胶沉积等设备。
十年以来,复纳科技赋能中国科研创新、工业升级,人工智能检测的使命也越来越清晰。
Technoorg Linda GIB TEM样品制备 精修离子束系统
用于扫描电镜 / 双束电镜的氩离子束方案
Technoorg Linda GIB TEM样品制备 精修离子束系统的低能氩离子枪(GIB) 适用于表面减薄、其他表面处理后的后处理、清洁以及去除无定形和氧 化物表面层。 当低能氩离子枪集成到扫描电镜中时 ,其作用尤为明显。有了集成离子枪 ,就可以在研究之前对样品 进行精修。 实现高质量样品的另一个重要应用是在双束 SEM / FIB 系统中进行 FIB 样品制备后,对 TEM 样品进行最 终抛光和温和的表面清洁。
可与扫描电镜集成
带波纹管的传输系统可通过连接管安装到扫描电镜上。连 接管输出法兰的尺寸与相应的 SEM 端口尺寸相匹配。通 过线性传输系统提供的离子源流动性,可实现理想的工作 距离(15-30 mm)。
低能量氩离子枪
低能量离子枪的直径和长度均为 50mm。氩离子束的能 量范围:100eV - 2kV。 2kV 时的最大束流为 70µA。离 子束为宽束,半最大全宽(FWHM)为 2mm。
半管支架
低能量离子枪安装在半管支架中。