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TS系列 日本unozawa干式真空泵用于清洁工艺非腐蚀
- 型号
- TS系列
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详细信息
日本unozawa干式真空泵用于清洁工艺非腐蚀 TS系列 特点介绍
这是一款“用于清洁工艺的ECO干式真空泵”，具有低功耗和出色的耐用性。
非常适合需要清洁真空、无油反扩散和高可靠性的非腐蚀性气体应用。
日本unozawa干式真空泵用于清洁工艺非腐蚀 TS系列 规格参数
・低功耗
由于是多级罗茨型，因此可以大幅降低功耗。
・高耐久性
由于是带有回流冷却机构的多级罗茨型，因此具有优异的耐久性。
・泵内不会产生清洁真空油的反扩散或灰尘。
・低噪音、低振动
转子经过严格平衡，标配排气消音器。
・散热性低
由于采用水冷方式，因此采用向周围散发较少热量的结构。
・采用密封结构密封电机，泄漏率小于E10 - 6Pa・m3/sec。
・维护间隔长
由于气体接触部分没有滑动部件，因此可以长期连续运行。
・真空蒸镀装置、溅镀装置、
负载锁合
装置、等离子清洗装置
、硅单晶拉制装置、电子
束加工机
、气体循环/回收装置
、气体置换
装置、真空成型装置
、真空吸附输送装置
、真空包装装置
、真空脱气装置等消泡
、真空冷却
、分析设备、理化实验设备
、低温泵粗抽及再生
、各类粗抽、TMP背泵
、等洁净真空设备
请将此真空泵用于清洁真空泵应用。
不得排放含有腐蚀性气体、有毒气体、易爆、溶剂等的气体。
