日本unozawa宇野泽用于清洁工艺的小型风冷干式真空泵KTS系列
“轻巧紧凑的风冷干式真空泵。” 高度耐用的根式，维护周期长，还可以排出水蒸气。
・易于安装在任何地方，无需风冷冷却水。
・轻量、紧凑
以铝合金为主要材料，打造出轻量、紧凑的泵。
・
转子是低振动、低噪音的旋转体，经过平衡，内置消音器，消除排气噪音。
・洁净真空泵
由于该泵是多级罗茨真空泵，内部没有滑动部件，因此可以获得洁净的真空，不会产生油的反扩散或颗粒的产生。
・水蒸气排出
冲洗空气机构（空气净化）可排出水蒸气，而不会在泵内滞留水分。可用于真空干燥等应用。
・维护周期长
由于泵内部没有滑动部件，因此可以长期稳定运行。
这可以延长维护周期并显着降低维护成本。
・由于采用高气密性密封电机，因此没有轴抽出部，保持了高气密性。
・分析设备、理化实验设备
・真空干燥设备
・真空脱气、消泡
、真空冷却
、气体循环、回收设备
・气体置换
・He检漏仪
・电子束加工机
・真空吸附输送
・真空包装机
・等离子清洗设备
、真空成型设备
、蒸发设备、溅射设备
、负载锁排气
、低温泵粗抽、再生
、各种粗抽、TMP背泵
、等洁净真空设备
