日本进口Arrows晶圆边缘视觉检测设备高精度 ARROWS/日本 WEIM-6800A 特点介绍

这是盒式到盒式自动晶圆边缘检查机。每张检查时间为 10 秒，节拍时间为 30 秒，实现了高吞吐量。

机器人从25片晶圆存储盒中一张一张取出晶圆，进行自动对准、检查，然后将其存储在晶圆盒中。易于操作。

 可以自动检查划痕、异物、缺口和裂纹等缺陷。

 我们在每张 30 秒内（包括运输时间）进行高速检查。

这是一款增加了新功能、更容易使用的高精度检查机。

 紧凑且省电的设计。交流100V8A

 外形尺寸 w1200×d900×h1600mm 重量 160kg

只需放置好晶圆盒并按下操作按钮，机器人就会将晶圆一张一张取出并输送至检测站。图像对准后，晶圆的外边缘和三个顶面和底面同时被拍照并检查是否有划痕、异物、裂纹和缺口等缺陷，然后返回到晶圆盒中。

通过吸附在晶圆背面进行检查，相机识别凹口/定向平面并对其进行最佳控制。

日本进口Arrows晶圆边缘视觉检测设备高精度 ARROWS/日本 WEIM-6800A 规格参数

≪特点≫

1. 可以同时进行三个边缘成像、整个晶圆周边成像以及缺陷检查。

2. 三光学系统允许使用一台线相机检查三个表面。

3. 集成照明为边缘检查创造了理想的照明。

4. 可以进行包括定向平面/缺口在内的外观检查。（仅检查凹口的斜面。）

5. 高性能，测量分辨率为10μm，检测缺陷尺寸为20μm，通过/失败判断缺陷为50μm。

≪功能≫

1. 自动对准机构：利用图像自动对准晶圆中心和检查中心。

2. 三面独立设置：可进行检验条件配方和照明设置。

3. 复检功能：可对判定为NG的晶圆进行目视复检。

4. 显示更改功能：通过放大和反转功能，现在可以更轻松地查看原始图像。

5. 大的污垢和标记可以与缺陷分开。