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PCG550,PCG552, PCG554 皮拉尼与电容薄膜复合真空计INFICON

型号
PCG550,PCG552, PCG554
参数
测量原理:皮拉尼与电容薄膜复合 产地类别:进口 价格区间:2千-5千 量程:0.1-1000mbar 应用领域:能源,电子,冶金,航天,制药 真空接口:KF16
杭州域势科技有限公司

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杭州域势科技有限公司,专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案,公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌,结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案,旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。

我们代理经销的品牌:ALICATVOGTLINMKSFischerKOBOLDVAT

我们的产品:

1.   热式气体质量流量计及控制器

2.   层流式质量流量计及控制器(气体)

3.   液体质量流量计及控制器

4.   压力控制器、压力传感器

5.   真空计及真空阀门

6.   真空配件及Feedthrough

我们服务的领域:

1.   生物制药、生命科学研究

2.   工业自动化及汽车制造

3.   新能源制造(锂电、光伏、氢能)

4.   半导体及泛半导体行业

5.   科研及航天航空研究

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

皮拉尼与电容薄膜复合真空计INFICON


皮拉尼与电容薄膜复合真空计INFICON


INFICON PCG550皮拉尼与电容薄膜复合真空计, 该真空计将 INFICON 皮拉尼技术与陶瓷电容膜片传感器的优点结合在单一产品中,弥补了皮拉尼真空计再大气压附近测量不稳定的缺陷,其量程范围为:5×10-5… 1500mbar;传感器可选镍丝传感器(PCG552)和陶瓷涂层传感器(PCG554)。


技术特点:


l在 10 mbar 以上压力下不受气体类型限制,测量精度可达:±2.5%

l可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器,PCG554可应用于高腐蚀性环境;

l多种通讯接口可选DeviceNet、Profibus DP、EtherCAT、RS485;

l 传感器可单独更换,降低了维护成本;

l可选大气开关

l可选显示屏和数字接口

l认证标准:CE、EN、UL、CSA、RoHS


皮拉尼与电容薄膜复合真空计INFICON

典型应用:


·     用于光伏、半导体单晶炉,层压机等;

·       锂电池制造;

·       工业真空设备;

·       低真空测量。


技术参数:

参数                    

单位

参数值

传感器材质选型

PCG550(钨丝)、PCG552(镍丝)

PCG554(陶瓷涂层)

Measurement range

测量范围

mbar
Torr

10-5… 1500mbar

3.8×10-5… 1125torr

Accuracy (N2)

精度

5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2)

% of reading

±50%

1×10-3 … 100 mbar (N2)

% of reading

±15%

100 … 950 mbar

% of reading

±5%

950 … 1050 mbar

% of reading

±2.5%

Repeatability (N2)

重复性  (N2)

% of reading读数的

±2%

Admissible temperature

允许温度

Operation操作温度

°C

+10 ... +50°C

Storage储存温度

°C

-20 ... +65°C

Bakeout烘烤温度

°C

≤80°C

Bakeout at flange long tube

烘烤温度(长法兰)

°C

≤250°C

Supply voltage

供电电源

V (dc)

+15 ... +30V  

Electrical connection

电气接头

D-Sub, 9-pin male、 D-Sub, 15-pin HD、FCC 8pin(网线接口)            

Materials exposed to vacuum

暴露真空的材料

W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass




































尺寸图

皮拉尼与电容薄膜复合真空计INFICON

订货选型

皮拉尼与电容薄膜复合真空计INFICON

1) 只在提供D-Sub 9针连接器的情况下

2) 选择LCD (液晶显示器)时,选择所需的压力单位

3) 当使用INFICON VGC40x/PGD控制器或在电气连接下选择“4”时,选择这些设置

4) 只在提供D-Sub 9针连接器和电流隔离的情况下

5) 只在不提供附加数字接口的情况下

6) 只在提供D-Sub 9针连接器而不提供LCD显示屏的情况下

7) 现场总线选项仅与开关功能一起提供(从表“显示器,开关功能”中选择数字“2”、“3”、“4”或“5”)

8) 仅可通过“电气连接”表中的数字“4”进行选择

9) EtherCAT协议2.0代和协议1.0代仍可按要求提供


以下型号长期现货供应:


3PC1-001-0000         PCG550 FCC,16KF  (模拟输出:0.61-10.23V)

3PC1-001-0001         PCG550 FCC,16KF   (模拟输出:1.2-8.68V)

3PC1-001-1102         PCG550 9DSub,LCD,16KF (带显示)

3PC1-001-0101         PCG550 9DSub,16KF

3PC1-001-0203         PCG550 15DSubHD,16KF



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产品参数

测量原理 皮拉尼与电容薄膜复合
产地类别 进口
价格区间 2千-5千
量程 0.1-1000mbar
应用领域 能源,电子,冶金,航天,制药
真空接口 KF16
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