INFICON英福康PPG550皮拉尼真空计
高级会员第1年
代理商杭州域势科技有限公司,专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案,公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌,结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案,旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌:ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品:
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器(气体)
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域:
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造(锂电、光伏、氢能)
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
新型 INFICON Pirani /Piezo 组合真空计 (INFICON英福康PPG550皮拉尼真空计) 基于目前非常先进的 MEMS(微机电系统)传感器技术。
在MEMS过程中微型化的Pirani/Piezo组合技术,能够构建一个非常小的、从而节省空间的传感器,这使得测量设备的整体高度非常低成为可能。
除了高度低的优势外,基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比传统皮拉尼测量更深、更准确的优势。与安装在同一法兰上的MEMS压电传感器相结合,皮拉尼真空计成为一个真正的宽范围真空计,其测量范围远远超过通常的1000mbar,也可延伸到大气压层。同时,MEMS压电传感器提供独立于气体类型的压力测量,范围为2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。
最后但并非最不重要的是,新的INFICON PPG550可以用来直接取代所谓的MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™-绝对压电真空压力传感器 "以及MKS925 "Micro Pirani™真空压力传感器"。Inficon提供了相同的连接器/引脚分配,模拟输出和RS232/485兼容性。
INFICON英福康PPG550皮拉尼真空计
优势
l 2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放
l 大气层的高精度和可重复性--用于可靠、快速的大气压力检测
l 多种安装方向--为工具设计提供工程自由度
l 可选择模拟输出信号,便于系统集成
l 数字接口RS232/RS485
l 符合标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS
l 能够直接替换MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducers" 以及MKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducers" 。
l DualTrans™ MicroPirani™是MKS Instruments, Andover, MA的注册商标。
l 合规性和标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS
典型应用
l 在分析设备/质谱仪中使用
l 物理气相沉积
l 前线测量
l 气体回填