- ¥300001台起订
起订量：
60升 干法清洗设备等离子清洗活化设备
- 型号
- 60升
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信利泰（XLT）是集科技研发、技术服务和生产服务于一体的科技公司，专注于等离子表面处理系统的研制、开发、生产、销售和服务，团队有多年的等离子表面改性技术的科研、设计、生产线制造经验。核心技术团队人员拥有超过20年的等离子体设备研发、设计、制造和等离子体表面处理技术应用的丰富经验，我们有信心按照客户的需求，提供等离子体表面处理技术解决方案和服务。
信利泰（XLT）基于等离子体的真空设备, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领者。采用的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、13.56MHz，以及的2.45GHz的等离子清洗机、等离子镀膜机、等离子刻蚀机。
设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的优质产品，以保证性能技术稳定。
详细信息
1. 主机柜：
l 宽：约 600 mm
l 高：约 1700 mm
l 深：约 800 mm
2. 真空舱体：
l 舱体材质：舱体：不锈钢
舱门：铝合金
l 舱体内部尺寸： 宽：约 305mm
高：约 300 mm
深：约 370mm
l 舱体后板上有KF40法兰的抽真空空和KF16法兰的真空计接口和排气口
l 舱门上有观察窗1个
l 真空舱体与真空泵之间安装有真空阀
3. 工艺气体：
l 2路工艺气体由质量流量控制器（MFC）控制
l 1路清洗气体
l 真空压力检测使用皮拉尼真空计
4.射频电源：
l 射频电源：1台
l 电源输出频率：13.56MHz
l 电源输出功率：0 –500 W
l 射频电源配备自动匹配器
l 安全保护：舱门安全开关
电源高温保护开关
真空度检测开关
5. 电极与托盘
l 3组电极，电极与样品托盘水平对称放置
6. 控制系统
l 设备通过PLC和触摸屏控制
l 控制系统安装在触摸屏的工控机内t
l 输入与输出电流隔离，高抗干扰性
l 2中控制模式：手动模式：通过触摸屏点击手动操作
l 自动模式：通过编辑程序实现自动操作:
l 可编辑参数：工艺气路选择；
启动工艺气体真空度；
工艺气体流量；
工艺气体通入舱体内稳定时间；
启动射频电源真空度；
射频电源功率；
等离子处理时间；
清洗时间；
通风时间。
l 自动模式下所有工艺步骤实时显示
l 舱体关闭状态，真空压力，射频反射功率过大安全联锁
l 真空压力曲线显示
l 故障报警系统
7. 设备连接
l 工艺气体：6 mm双卡套接头
l 设备供电：220 V / 16 A / 50-60 Hz
l 排气：KF25标准接口
8. 莱宝油式真空泵：
l 抽速：约 16m3/h
l 极限真空度： 约 0.01mbar
l 电机输出功率： 0.6KW
l 供电连接：220V
l 噪音值：60dB（A）使用气镇阀时66dB（A）
l 抽气口：标准KF25法兰
l 排气口：标准KF25法兰
l 冷却方式：风冷
l 工作环境温度：5-40℃
