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FAN-090/FAN-170/FAN-200 日本furukawa氮化铝陶瓷零件半导体制造设备
- 型号
- FAN-090/FAN-170/FAN-200
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深圳市秋山贸易有限公司是一家从事从事机电设备咨询,科学仪器咨询,机械加工设备咨询等业务的公司，成立于2017年06月16日，一般经营项目是：从事机电设备、电子能源相关设备、食品加工机械设备、粉体制造设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、光电产品、检测仪器的销售及技术咨询；橡塑制品、金属制品、化工产品（危险品除外）的销售；经营电子商务；国内贸易，货物及技术进出口（法律、行政法规、决定规定在登记前须经批准的项目除外）。
详细信息
日本furukawa氮化铝陶瓷零件半导体制造设备 FAN-090/FAN-170/FAN-200 特点介绍
半导体制造设备（用于前端工艺）需要应对更小的设计规则和更大的晶圆直径（300mmφ或更大）。为此，构成设备的部件材料的选择极其重要。
氮化铝（AlN）是一种平衡良好的材料，具有优异的导热性、热辐射（散热）、抗热震性和电绝缘性，并且具有与硅晶片相匹配的热膨胀性。
利用古河电子的烧成技术，我们还能够制造550mmφ氮化铝陶瓷部件。我们还将应对更大直径的晶圆。
具有高导热率和热发射率，受热均匀性高。
它具有抗热冲击能力，可以承受快速加热和冷却。
与硅相匹配的低热膨胀。
对氟气具有优异的耐腐蚀性。
日本furukawa氮化铝陶瓷零件半导体制造设备 FAN-090/FAN-170/FAN-200 规格参数
半导体制造装置（CVD、蚀刻等）用各种基座、静电吸盘、均热板、真空吸盘、加热器
虚拟晶圆
目标
化合物半导体制造设备零部件
･熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高い。･熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える。･Si にマッチした低熱膨張で、温度変化によるウェーハの変形を防ぎ、また、デポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する。･フッ素系ガス耐食性に優れる。
